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Document DE102012010549A1 (Pages: 16)

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Bibliographic data Document DE102012010549A1 (Pages: 16)
INID	Criterion	Field	Contents
54	Title	TI	[DE] Verfahren zur Fixierung einer beweglichen Komponente eines mikromechanischenBauelementes
71/73	Applicant/owner	PA	Fraunhofer-Gesellschaft zur F�rderung der angewandten Forschung e.V., 80686, M�nchen, DE ; Technische Universit�t Chemnitz, 09111, Chemnitz, DE
72	Inventor	IN	Bertz, Andreas, Dr., 09123, Chemnitz, DE ; Schulz, Stefan E., Prof. Dr., 09120, Chemnitz, DE
22/96	Application date	AD	May 29, 2012
21	Application number	AN	102012010549
	Country of application	AC	DE
	Publication date	PUB	Dec 5, 2013
33 31 32	Priority data	PRC PRN PRD
51	IPC main class	ICM	B81C 1/00 (2012.01)
51	IPC secondary class	ICS	B81B 3/00 (2012.01) B81B 5/00 (2012.01) B81B 7/02 (2012.01) G01C 19/5733 (2012.01) G01P 15/08 (2012.01)
	IPC additional class	ICA
	IPC index class	ICI
	Cooperative patent classification	CPC	B81B 3/0086
	MCD main class	MCM	B81C 1/00 (2006.01)
	MCD secondary class	MCS	B81B 3/00 (2006.01) B81B 5/00 (2006.01) B81B 7/02 (2006.01) G01C 19/5733 (2012.01) G01P 15/08 (2006.01)
	MCD additional class	MCA
57	Abstract	AB	[DE] Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Fixierung einer ersten beweglichen Komponente eines mikromechanischen Bauelementes an einer feststehenden oder beweglichen zweiten Komponente des Bauelementes, wobei sich eine Seitenfl�che der ersten und eine Seitenfl�che der zweiten Komponente gegen�berliegen. Bei dem Verfahren wird auf einer an die Seitenfl�che angrenzenden Seite einer oder beider Komponenten eine �ber die Seitenfl�che �berstehende Schicht erzeugt. Die bewegliche erste Komponente wird zur Fixierung so gegen die zweite Komponente bewegt, dass sich der �berstehende Schichtbereich �ber die an die Seitenfl�che angrenzende Seite der ersten oder zweiten Komponente schiebt oder sich, im Falle einer bei beiden Komponenten vorhandenen �berstehenden Schicht, die �berstehenden Schichtbereiche �bereinander schieben, so dass aufgrund von Adh�sion der �berstehende Schichtbereich an der darunter liegenden Komponente oder die �berstehenden Schichtbereiche aneinander haften. Mit dem vorgeschlagenen Verfahren lassen sich nachtr�glich Spaltbreiten zwischen einem beweglichen Strukturelement und einem feststehenden oder beweglichen Strukturelement mit geringem Aufwand verringern.
56	Cited documents identified in the search	CT	DE102004058103B4 DE102008040854A1 DE102010002545A1 US000006211599B1 US020060054983A1 WO002012020132A1
56	Cited documents indicated by the applicant	CT
56	Cited non-patent literature identified in the search	CTNP
56	Cited non-patent literature indicated by the applicant	CTNP	M. Nowack et al., "Novel Post-Process Gap Reduction Technology of High Aspect Ratio Microstructures Utilizing Microwelding", Sensors and Actuators A: http://dx.doi.org/10.1016/j.sna.2011.12.026 1
	Citing documents		Determine documents
	Sequence listings
	Search file IPC	ICP	B81B 3/00 B81B 5/00 B81B 7/02 B81C 1/00 G01C 19/5733 G01P 15/08