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Title |
TI |
[DE] Zylindrische Vorrichtung in Multilayertechnik als Plattform für die Hochtemperatur-Gasdetektion
[EN] Cylindrical device for use as sensor platform for gas detection, comprises electrode structure, where defined variation of influx speed of gas to functional layer is obtained by execution of high temperature suitable components of device |
| 71/73 |
Applicant/owner |
PA |
Brandenburg, Annica, 95445, Bayreuth, DE
;
Groß, Andrea, 95447, Bayreuth, DE
;
Kita, Jaroslaw, Dr. Ing., 95447, Bayreuth, DE
;
Moos, Ralf, Prof. Dr. Ing., 95447, Bayreuth, DE
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| 72 |
Inventor |
IN |
Brandenburg, Annica, 95445, Bayreuth, DE
;
Groß, Andrea, 95447, Bayreuth, DE
;
Kita, Jaroslaw, 95447, Bayreuth, DE
;
Moos, Ralf, 95447, Bayreuth, DE
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| 22/96 |
Application date |
AD |
May 16, 2012 |
| 21 |
Application number |
AN |
102012010423 |
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Country of application |
AC |
DE |
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Publication date |
PUB |
Nov 21, 2013 |
33
31
32 |
Priority data |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC main class |
ICM |
G01N 27/12
(2012.01)
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| 51 |
IPC secondary class |
ICS |
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IPC additional class |
ICA |
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IPC index class |
ICI |
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Cooperative patent classification |
CPC |
G01N 27/12
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MCD main class |
MCM |
G01N 27/12
(2006.01)
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MCD secondary class |
MCS |
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MCD additional class |
MCA |
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| 57 |
Abstract |
AB |
[DE] Die Erfindung ist auf dem Gebiet der Chemosensorik, insbesondere der Gassensorik angesiedelt. Zur Verbesserung der Temperaturhomogenität und um mehrzoniges und zeitlich versetztes sowie definiertes Beheizen der einzelnen Zonen zu ermöglichen, wird vorgeschlagen, eine röhrchenförmige zylindrische Vorrichtung auf Basis keramischer Grünfolien als aktiv beheizte Plattform für die Gasdetektion zu nutzen. Eine solche Plattform enthält eine Elektrodenstruktur, eine Funktionsschicht und eine Widerstands-Heizleiterschicht. Durch die keramische Aufbautechnik ist die Plattform hochtemperaturgeeignet. Eine Variation der Zutrittsgeschwindigkeit des Gases wir durch die Geometrie erreicht, die Gaszusammensetzung kann durch Funktionsschichten verändert werden und die Temperaturverteilung wird durch die Heizleiter definiert.
[EN] The cylindrical device comprises an electrode structure with electrical connections, which is implemented as a resistive, capacitive or inductive element. A functional layer is applied to the electrode structure, whose electrical, physical or gas properties change in the presence of certain gas components. A defined variation of the influx speed of the gas to the functional layer or the gas composition or the temperature distribution is obtained in the radial, axial or tangential direction by execution of the cylindrical device and its high temperature suitable components. |
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Cited documents identified in the search |
CT |
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| 56 |
Cited documents indicated by the applicant |
CT |
DE000004037195A1
DE000019645613A1
DE000019716521A1
DE000019830709A1
DE000019853595C1
DE102010023523A1
US000003631436A
US000007155812B1
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| 56 |
Cited non-patent literature identified in the search |
CTNP |
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| 56 |
Cited non-patent literature indicated by the applicant |
CTNP |
A. Groß, G. Beulertz, I. Marr, D. J. Kubinski, J. H. Visser, R. Moos: Dual Mode NOx Sensor: Measuring Both the Accumulated Amount and Instantaneous Level at Low Concentrations, Sensors, 12 (2012), pp. 2831-2850 1;
C. K. Ho, K. A. Peterson, L. K. McGrath, T. S. Turner: Development of LTCC Smart Channels for Integrated Chemical, Temperature, and Flow Sensing, J. Microelectronics and Electronic Packaging, 3 (2005) pp. 136-144 1;
F. Rettig, R. Moos: Ceramic meso hot-plates for gas sensors, Sensors and Actuators B: Chemical, 103 (2004) pp. 91-97 1;
G. Beulertz, A. Groß, R. Moos, D. J. Kubinski, J. H. Visser: Determining the Total Amount of NOx in a Gas Stream - Advances in the Accumulating Gas Sensor Principle, Sensors and Actuators B: Chemical, in press, doi: 10.1016/j.snb.2012.02.017 1;
H. Teterycz, J. Kita, R. Bauer, L. J. Golonka, B. W. Licznerski, K. Nitsch, K. Wisniewski: New design of an SnO2 gas sensor an low temperature cofiring ceramics, Sensors and Actuators B: Chemical, 47 (1998) pp. 100-103 1;
J. Kita, R. Moos: Anwendung der LTCC-Technologie in der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik. In Kriegesmann J. (Hrsg.): DKG-Handbuch Technische Keramische Werkstoffe, Kap. 3.6.1.3, Fachverlag. Deutscher Wirtschaftsdienst, 2004 1;
J. Watson: The Tin Oxide Gas Sensors and its Applications, Sensors and Actuators, 5 (1984) pp. 29-42 1;
K. A. Peterson, K. D. Patel, C. K. Ho, S. B. Rohde, C. D. Nordquist, C. A. Walker, B. D. Wroblewski, M. Okandan: Novel Microsystem Applications with New Techniques in Low-Temperature Co-Fires Ceramics, Int. J. Appl. Ceram. Technol., 2 (2005) pp. 345-363 1;
M. Wagner, A. Roosen: Low Temperature Co-fired Ceramics (LTCC) Mehrlagenkeramik für mikroelektronische Anwendungen. In Kriegesmann J. (Hrsg.): DKG-Handbuch Technische Keramische Werkstoffe, Kap. 3.6.1.2, Fachverlag Deutscher Wirtschaftsdienst, 2002 1
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Citing documents |
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Sequence listings |
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ICP |
G01N 27/12
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