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Title |
TI |
[DE] Mikrofluidische Membranventilvorrichtung und entsprechendes Herstellungsverfahren |
| 71/73 |
Applicant/owner |
PA |
Robert Bosch GmbH, 70469, Stuttgart, DE
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| 72 |
Inventor |
IN |
Brettschneider, Thomas, 70806, Kornwestheim, DE
;
Dorrer, Christian, 70193, Stuttgart, DE
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| 22/96 |
Application date |
AD |
Nov 22, 2011 |
| 21 |
Application number |
AN |
102011086856 |
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Country of application |
AC |
DE |
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Publication date |
PUB |
May 23, 2013 |
33
31
32 |
Priority data |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC main class |
ICM |
B81B 1/00
(2011.01)
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| 51 |
IPC secondary class |
ICS |
B81B 7/02
(2011.01)
B81C 1/00
(2011.01)
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IPC additional class |
ICA |
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IPC index class |
ICI |
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Cooperative patent classification |
CPC |
B01L 2300/0816
B01L 2300/0887
B01L 2300/1827
B01L 2400/0677
B01L 3/502738
F16K 2099/008
F16K 2099/0084
F16K 99/003
F16K 99/0044
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MCD main class |
MCM |
B81B 1/00
(2006.01)
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MCD secondary class |
MCS |
B81B 7/02
(2006.01)
B81C 1/00
(2006.01)
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MCD additional class |
MCA |
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| 57 |
Abstract |
AB |
[DE] Die Erfindung schafft eine mikrofluidische Membranventilvorrichtung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die mikrofluidische Membranventilvorrichtung umfasst ein erstes Polymersubstrat (1) mit einem ersten mikrofluidischen Kanal (8; 8'; 8''; 8'''; 8''''), ein zweites Polymersubstrat (3) mit einem zweiten mikrofluidischen Kanal (9; 9'; 9''; 9'''; 9''''; 9'''''), wobei eine zwischen einer ersten Innenseite (I1) des ersten Polymersubstrats (1) und einer zweiten Innenseite (I3) des zweiten Polymersubstrats (3) eine erste Polymermembran (2) angeordnet ist. Der erste mikrofluidische Kanal (8; 8'; 8''; 8'''; 8'''') und zweite mikrofluidische Kanal (9; 9'; 9''; 9'''; 9''''; 9''''') sind durch einen Bereich (D; D'; D''; D'''; D'''') der ersten Polymermembran (3) voneinander getrennt. Durch eine mit dem Bereich (D; D'; D''; D'''; D'''') der ersten Polymermembran (2) in thermischen Kontakt befindliche Heizeinrichtung (10; 10a) ist der Bereich (D; D'; D''; D'''; D'''') zumindest teilweise aufschmelzbar. |
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Cited documents identified in the search |
CT |
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Cited documents indicated by the applicant |
CT |
DE102008002336A1
DE102008002675A1
US020100180953A1
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| 56 |
Cited non-patent literature identified in the search |
CTNP |
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| 56 |
Cited non-patent literature indicated by the applicant |
CTNP |
Li et al., A parylene MEMS electrothermal valve, Journal of Microelectromechanical Systems, Vol. 18, Seiten 1184 bis 1197, 2009 1;
Liu et al., Single-use, thermally actuated paraffin valves for microfluidic applications, Sensors and Actuators B: Chemical, Vol. 98, Seiten 328 bis 336 1;
Selvaganapathy, Carlen, Mastrangelo, Electrothermally actuated inline microfluidic valve, Sensors and Actuators A 104 (2003), Seiten 275 bis 282 1
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Citing documents |
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Determine documents
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Sequence listings |
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Search file IPC |
ICP |
B81B 1/00 MF
B81B 7/02
B81C 1/00
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