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Titel |
TI |
[DE] Polymerschichtsystem-Drucksensorvorrichtung und Polymerschichtsystem-Drucksensorverfahren |
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Anmelder/Inhaber |
PA |
Robert Bosch GmbH, 70469, Stuttgart, DE
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| 72 |
Erfinder |
IN |
Brettschneider, Thomas, 70806, Kornwestheim, DE
;
Dorrer, Christian, 70193, Stuttgart, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
31.08.2011 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
102011081887 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
28.02.2013 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
G01L 9/00
(2011.01)
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
B01L 2200/146
B01L 2300/0663
B01L 3/502707
G01L 7/00
G01L 9/0045
G01L 9/0052
G01L 9/0072
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
G01L 9/00
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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Zusammenfassung |
AB |
[DE] Die Erfindung schafft eine Polymerschichtsystem-Drucksensorvorrichtung und ein Polymerschichtsystem-Drucksensorverfahren. Die Polymerschichtsystem-Drucksensorvorrichtung umfasst: ein erstes Polymersubstrat (5; 5a) mit einer ersten Kavität (8; 8a, 8b); eine erste Polymermembran (4), welche über die erste Kavität (8; 8a, 8b) gespannt ist und in Abhängigkeit von einem in der ersten Kavität (8; 8a, 8b) anliegenden Druck (PM) auslenkbar ist; eine auf der ersten Polymermembran (4) oberhalb der ersten Kavität (8; 8a) angebrachten ersten Membranmetallisierungsschicht (6; 6a), welche zusammen mit der ersten Polymermembran (4) in Abhängigkeit von dem in der ersten Kavität (8; 8a, 8b) anliegenden Druck (PM) auslenkbar ist; ein über der ersten Polymermembran (4) angeordnetes zweites Polymersubstrat (3) mit einer zweiten Kavität (9), welche über der ersten Kavität (8; 8a, 8b) angeordnet ist; eine zweite Polymermembran (2), welche über die zweite Kavität (9) gespannt ist; eine auf der zweiten Polymermembran (2) innerhalb der zweiten Kavität (9) angebrachte zweite Membranmetallisierungsschicht (7; 7a); und ein über der zweiten Polymermembran (2) angeordnetes dritten Polymersubstrat (1). |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
DE102008002336A1
DE102009000529A1
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Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
Micromachined Channel/Pressure Sensor Systems for Microflow Studies, J. Liu et al., 7th International Conference Solid-State Sensors and Actuators (Transducers '93) 1;
Sensor Actuat. A-Frisch 118 (205), Seiten 212 bis 221 1
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Zitierende Dokumente |
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CN000108627286A
DE102015223782A1
DE102016224624A1
EP000003376194A1
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
G01L 13/02
G01L 9/00
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