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Title |
TI |
[DE] Polymerschichtsystem-Drucksensorvorrichtung und Polymerschichtsystem-Drucksensorverfahren |
| 71/73 |
Applicant/owner |
PA |
Robert Bosch GmbH, 70469, Stuttgart, DE
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| 72 |
Inventor |
IN |
Brettschneider, Thomas, 70806, Kornwestheim, DE
;
Dorrer, Christian, 70193, Stuttgart, DE
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| 22/96 |
Application date |
AD |
Aug 31, 2011 |
| 21 |
Application number |
AN |
102011081887 |
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Country of application |
AC |
DE |
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Publication date |
PUB |
Feb 28, 2013 |
33
31
32 |
Priority data |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC main class |
ICM |
G01L 9/00
(2011.01)
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| 51 |
IPC secondary class |
ICS |
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IPC additional class |
ICA |
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IPC index class |
ICI |
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Cooperative patent classification |
CPC |
B01L 2200/146
B01L 2300/0663
B01L 3/502707
G01L 7/00
G01L 9/0045
G01L 9/0052
G01L 9/0072
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MCD main class |
MCM |
G01L 9/00
(2006.01)
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MCD secondary class |
MCS |
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MCD additional class |
MCA |
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Abstract |
AB |
[DE] Die Erfindung schafft eine Polymerschichtsystem-Drucksensorvorrichtung und ein Polymerschichtsystem-Drucksensorverfahren. Die Polymerschichtsystem-Drucksensorvorrichtung umfasst: ein erstes Polymersubstrat (5; 5a) mit einer ersten Kavität (8; 8a, 8b); eine erste Polymermembran (4), welche über die erste Kavität (8; 8a, 8b) gespannt ist und in Abhängigkeit von einem in der ersten Kavität (8; 8a, 8b) anliegenden Druck (PM) auslenkbar ist; eine auf der ersten Polymermembran (4) oberhalb der ersten Kavität (8; 8a) angebrachten ersten Membranmetallisierungsschicht (6; 6a), welche zusammen mit der ersten Polymermembran (4) in Abhängigkeit von dem in der ersten Kavität (8; 8a, 8b) anliegenden Druck (PM) auslenkbar ist; ein über der ersten Polymermembran (4) angeordnetes zweites Polymersubstrat (3) mit einer zweiten Kavität (9), welche über der ersten Kavität (8; 8a, 8b) angeordnet ist; eine zweite Polymermembran (2), welche über die zweite Kavität (9) gespannt ist; eine auf der zweiten Polymermembran (2) innerhalb der zweiten Kavität (9) angebrachte zweite Membranmetallisierungsschicht (7; 7a); und ein über der zweiten Polymermembran (2) angeordnetes dritten Polymersubstrat (1). |
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Cited documents identified in the search |
CT |
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Cited documents indicated by the applicant |
CT |
DE102008002336A1
DE102009000529A1
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Cited non-patent literature identified in the search |
CTNP |
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| 56 |
Cited non-patent literature indicated by the applicant |
CTNP |
Micromachined Channel/Pressure Sensor Systems for Microflow Studies, J. Liu et al., 7th International Conference Solid-State Sensors and Actuators (Transducers '93) 1;
Sensor Actuat. A-Frisch 118 (205), Seiten 212 bis 221 1
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Citing documents |
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Determine documents
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Sequence listings |
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Search file IPC |
ICP |
G01L 13/02
G01L 9/00
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