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Inventor |
IN |
Agari, Michaela, Dr., 69126, Heidelberg, DE
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Beier, Bernard, Dr., 68526, Ladenburg, DE
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Hauptmann, Gerald Erik, Dr., 69245, Bammental, DE
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Junghans, Gerd, Dr., 68723, Schwetzingen, DE
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Kissel, Ralf, Dr., 67273, Herxheim am Berg, DE
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Rupprecht, Andreas, 69256, Mauer, DE
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Sonnenschein, Joachim, 64367, Mühltal, DE
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Abstract |
AB |
[DE] Ein erfindungsgemäßes Verfahren zur Erzeugung einer Submikrometer-Fluidschicht, wobei ein Übertragen eines Fluids (F) zwischen Substraten (S1, S2, S3) und die Bildung einer Fluidschicht (FS3) erfolgt, zeichnet sich dadurch aus, dass die Oberflächenenergie (γS1) eines das Fluid (F) abgebenden ersten Substrats (S1) – zur Erzeugung eines ersten Fluiddepots (FD1) auf dem ersten Substrat (S1) – größer als die Oberflächenenergie (γF1) des Fluids (F) auf dem ersten Substrat (S1) ist, dass die Oberflächenenergie (γS2) eine – zur Erzeugung eines gegenüber dem ersten Fluiddepot (FD1) verringerten zweiten Fluiddepots (FD2) auf dem zweiten Substrat (S2) – kleiner als die Oberflächenenergie (γF2) des Fluids (F) auf dem zweiten Substrat (S2) ist, und dass die Oberflächenenergie (γS3) eines das Fluidr Erzeugung eines die Fluidschicht (FS3) bildenden, im Wesentlichen homogenen dritten Fluiddepots (FD3) auf dem dritten Substrat (S3) – größer als die Oberflächenenergie (γF3) des Fluids (F) auf dem dritten Substrat (S3) ist. |
