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Titel |
TI |
[DE] Verfahren zur Herstellung von metallischen Strukturen |
71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
Leibniz-Institut für Neue Materialien gemeinnützige GmbH, 66123, Saarbrücken, DE
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72 |
Erfinder |
IN |
Arzt, Eduard, Prof. Dr., 66123, Saarbrücken, DE
;
Moh, Karsten, Dipl.-Phys., 66125, Saarbrücken, DE
;
Oliveira, Peter William de, Dr., 66111, Saarbrücken, DE
;
Schumacher, Sarah, 66129, Saarbrücken, DE
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22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
23.11.2010 |
21 |
Anmeldenummer |
AN |
102010052032 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
24.05.2012 |
33 31 32 |
Priorität |
PRC PRN PRD |
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51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
H01L 21/768
(2006.01)
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51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
B81C 1/00
(2006.01)
B82B 3/00
(2006.01)
H01L 23/482
(2006.01)
H01L 23/498
(2006.01)
H05K 3/10
(2006.01)
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
C23C 16/48
C23C 18/08
C23C 18/143
H01L 2924/0002
Y10T 428/24917
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
H01L 21/768
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
B81C 1/00
(2006.01)
B82B 3/00
(2006.01)
H01L 23/482
(2006.01)
H01L 23/498
(2006.01)
H05K 3/10
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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57 |
Zusammenfassung |
AB |
[DE] Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von metallischen Strukturen, bei dem eine Initiatorzusammensetzung umfassend photokatalytische Nanostäbe auf ein Substrat aufgebracht wird. Auf diese Schicht wird eine Vorläuferzusammensetzung, welche durch die photokatalytische Aktivität der Nanostäbe zu einem Metall reduziert wird. Durch strukturierte Belichtung können hochaufgelöste metallische Strukturen erhalten werden. |
56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate, in Recherche ermittelt |
CT |
US020070202334A1 US020090269510A1
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56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate, vom Anmelder genannt |
CT |
US000005534312A US020040026258A1 US020050023957A1 US020060144713A1
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56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate, in Recherche ermittelt |
CTNP |
Huimin, J [u.a.]: Nonaqueous sol-gel synthesis and growth mechanism of single crystalline TiO2 Nanorods with high photocatalytic activity.. In: Materials Research Bulletin, 44, 2009, S.1312 - 1316. p 0
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56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate, vom Anmelder genannt |
CTNP |
C.J. Brinker, G.W. Scherer: "Sol-Gel Science - The Physics and Chemistry of Sol-Gel-Processing", Academic Press, Boston, San Diego, New York, Sydney (1990) 1; Jia, Huimin at al., Materials Research Bulletin, 2009, 44, 1312-1316, "Nonaqueous sol-gel synthesis and growth mechanism of single crystalline TiO2 nanorods with high photocatalytic activity" 1; Noh, C.-, et al., Advances in Resist Technology and Processing XXII, Proceedings of SPIE, 2005, 5753, 879-886, "A novel patterning method of lowresistivity metals" 1; Noh, C.-, et al., Chemistry Letters, 2005, 34(1), 82-83, "A novel patterning method of low-resistivity metals" 1
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
B81C 1/00
B82B 3/00
H01L 21/768
H01L 23/482
H05K 3/10
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