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Titel |
TI |
[DE] Mikroelektromechanisches Translationsschwingersystem |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686, München, DE
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| 72 |
Erfinder |
IN |
Drabe, Christian, 01099, Dresden, DE
;
Schwarzenberg, Markus, 01099, Dresden, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
18.05.2010 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
102010029072 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
08.01.2015 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
B81B 3/00
(2006.01)
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
B81B 7/02
(2006.01)
B81C 1/00
(2006.01)
G01B 9/02
(2006.01)
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
B81B 2201/042
B81B 2203/0109
B81B 2203/0163
B81B 2203/053
B81B 3/0059
B81B 7/0029
G01B 2290/35
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
B81B 3/00
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
B81B 7/02
(2006.01)
B81C 1/00
(2006.01)
G01B 9/02
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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| 57 |
Zusammenfassung |
AB |
[DE] Mikroelektromechanisches Translationsschwingersystem (100), das einen mikroelektromechanischen Translationsschwinger (110), der zur Ausführung einer optischen Anwendung ausgebildet ist, und einen mit dem mikroelektromechanischen Translationsschwinger (110) gekoppelten akustischen Resonator (120) aufweist, wobei der akustische Resonator (120) ausgelegt und angeordnet ist, so dass eine Resonanzfrequenz des akustischen Resonators an eine Eigenfrequenz des mikroelektromechanischen Translationsschwingers (110) angepasst ist, wobei der mikroelektromechanische Translationsschwinger (110) ein Schwingelement mit einer für die Ausführung der optischen Anwendung wirksamen Fläche als eine primäre Nutzseite (111) aufweist, wobei die primäre Nutzseite des mikromechanischen Translationsschwingersystems für die optische Anwendung optisch zugänglich ist, und wobei der akustische Resonator (120) ausgelegt und angeordnet ist, so dass der mikroelektromechanischen Translationsschwinger (110) eine stehende Welle mit einer der Resonanzfrequenz entsprechenden Wellenlänge in einem Volumen des akustischen Resonators (120) erzeugt, wobei der mikroelektromechanische Translationsschwinger (110) mit seiner Eigenfrequenz elektrostatisch, elektromagnetisch oder piezoelektrisch angeregt wird. |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
DE000069122534T2
DE102005043038A1
DE102006054348A1
US000004884450A
US000005969838A
US020030107456A1
US020030119220A1
US020050109080A1
US020050221867A1
WO002009071746A1
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| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
C. Gerhardy; "Ultraschallerzeugende Mikrostrukturen für batterielose Fernbedienungen"; Dissertation, Fakultät für Maschinenwesen der Rheinisch-Westfälischen Technischen Hochschule Aachen, 2009 p 0;
F. Granstedt et al., "Gas sensor with electroacoustically coupled rensonator", Sensor and Actuators B: Chemical, Volume 78, Issues 1-3, 30 August 2001, S. 161-165 p 0
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
B81B 3/00
B81B 7/02
B81C 1/00
G01B 9/02
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