| 54 |
Titel |
TI |
[DE] Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines Plasmas mittels eines Wanderwellenresonators |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
Forschungsverbund Berlin e.V., 12489 Berlin, DE
|
| 72 |
Erfinder |
IN |
Gesche, Roland, Dr., 63500 Seligenstadt, DE
;
Kühn, Silvio, Dipl.-Ing., 16321 Bernau, DE
;
Porteanu, Horia-Eugen, Dr., 12557 Berlin, DE
|
| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
19.11.2009 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
102009046881 |
|
Anmeldeland |
AC |
DE |
|
Veröffentlichungsdatum |
PUB |
26.05.2011 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
|
| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
H05H 1/46
(2006.01)
|
| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
H01J 25/34
(2006.01)
|
|
IPC-Zusatzklasse |
ICA |
|
|
IPC-Indexklasse |
ICI |
|
|
Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
H05H 1/24
H05H 1/46
H05H 1/466
|
|
MCD-Hauptklasse |
MCM |
H05H 1/46
(2006.01)
|
|
MCD-Nebenklasse |
MCS |
H01J 25/34
(2006.01)
|
|
MCD-Zusatzklasse |
MCA |
|
| 57 |
Zusammenfassung |
AB |
[DE] Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas, umfassend eine Wechselspannungsquelle (10), einen Wanderwellenresonator (18) sowie Kopplungsmittel (16), die dazu ausgelegt sind, die von der Wechselspannungsquelle (10) erzeugte Wechselspannung in den Wanderwellenresonator (18) derart einzukoppeln, dass elektromagnetische Wanderwellen entstehen, wobei der Wanderwellenresonator (18) dazu ausgelegt ist, die elektrische Feldstärke der elektromagnetischen Wanderwellen derart zu überhöhen, dass in einem Gas ein Plasma gezündet wird. Die Erfindung betrifft ferner Verfahren zur Erzeugung eines Plasmas, das folgende Schritte umfasst: Erzeugen einer Wechselspannung; Erzeugen elektromagnetischer Wanderwellen in einem Wanderwellenresonator (18) durch Einkoppeln der Wechselspannung in den Wanderwellenresonator (18); und Überhöhen der elektrischen Feldstärke der elektromagnetischen Wanderwellen in dem Wanderwellenresonator (18), um in einem Gas ein Plasma zu zünden. Des Weiteren betrifft die Erfindung die Verwendung der genannten Vorrichtung und/oder des genannten Verfahrens zur Plasmabehandlung. |
| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
DE000003708314A1
DE000069620453T2
US000005029173A
US000007218180B2
US020030080685A1
WO002000019784A1
|
| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
|
| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
J.A. Brandão Faria: A Novel Approach to Ring Resonator Theory Involving Even and Odd Mode Analysis, IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques, Vol. 57, No. 4, S. 856-862, April 2009 p 0;
L.J. Milosevic, R. Vautey: Traveling Wave Resonators, IRE Transactions on Microwave Theory and Techniques, 136-143, April 1958 p 0
|
| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
José A. Brandão Faria: A Novel Approach to Ring Resonator Theory Involving Even and Odd Mode Analysis, IEEE Transactions an Microwave Theory and Techniques, Band 57, Nr. 4, April 2009, S. 856-862 1;
L. J. Milosevic, R. Vaurey: Traveling-Wave Resonators, IRE Transactions an Microwave Theory and Techniques, April 1958, S. 136-143 1
|
|
Zitierende Dokumente |
|
Dokumente ermitteln
|
|
Sequenzprotokoll |
|
|
|
Prüfstoff-IPC |
ICP |
H01J 25/34
H05H 1/46
|
