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Document DE102009046881A1 (Pages: 18)

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INID Criterion Field Contents
54 Title TI [DE] Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines Plasmas mittels eines Wanderwellenresonators
71/73 Applicant/owner PA Forschungsverbund Berlin e.V., 12489 Berlin, DE
72 Inventor IN Gesche, Roland, Dr., 63500 Seligenstadt, DE ; Kühn, Silvio, Dipl.-Ing., 16321 Bernau, DE ; Porteanu, Horia-Eugen, Dr., 12557 Berlin, DE
22/96 Application date AD Nov 19, 2009
21 Application number AN 102009046881
Country of application AC DE
Publication date PUB May 26, 2011
33
31
32		 Priority data PRC
PRN
PRD

51 IPC main class ICM H05H 1/46 (2006.01)
51 IPC secondary class ICS H01J 25/34 (2006.01)
IPC additional class ICA
IPC index class ICI
Cooperative patent classification CPC H05H 1/24
H05H 1/46
H05H 1/466
MCD main class MCM H05H 1/46 (2006.01)
MCD secondary class MCS H01J 25/34 (2006.01)
MCD additional class MCA
57 Abstract AB [DE] Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas, umfassend eine Wechselspannungsquelle (10), einen Wanderwellenresonator (18) sowie Kopplungsmittel (16), die dazu ausgelegt sind, die von der Wechselspannungsquelle (10) erzeugte Wechselspannung in den Wanderwellenresonator (18) derart einzukoppeln, dass elektromagnetische Wanderwellen entstehen, wobei der Wanderwellenresonator (18) dazu ausgelegt ist, die elektrische Feldstärke der elektromagnetischen Wanderwellen derart zu überhöhen, dass in einem Gas ein Plasma gezündet wird. Die Erfindung betrifft ferner Verfahren zur Erzeugung eines Plasmas, das folgende Schritte umfasst: Erzeugen einer Wechselspannung; Erzeugen elektromagnetischer Wanderwellen in einem Wanderwellenresonator (18) durch Einkoppeln der Wechselspannung in den Wanderwellenresonator (18); und Überhöhen der elektrischen Feldstärke der elektromagnetischen Wanderwellen in dem Wanderwellenresonator (18), um in einem Gas ein Plasma zu zünden. Des Weiteren betrifft die Erfindung die Verwendung der genannten Vorrichtung und/oder des genannten Verfahrens zur Plasmabehandlung.
56 Cited documents identified in the search CT DE000003708314A1
DE000069620453T2
US000005029173A
US000007218180B2
US020030080685A1
WO002000019784A1
56 Cited documents indicated by the applicant CT
56 Cited non-patent literature identified in the search CTNP J.A. Brandão Faria: A Novel Approach to Ring Resonator Theory Involving Even and Odd Mode Analysis, IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques, Vol. 57, No. 4, S. 856-862, April 2009 p 0;
L.J. Milosevic, R. Vautey: Traveling Wave Resonators, IRE Transactions on Microwave Theory and Techniques, 136-143, April 1958 p 0
56 Cited non-patent literature indicated by the applicant CTNP José A. Brandão Faria: A Novel Approach to Ring Resonator Theory Involving Even and Odd Mode Analysis, IEEE Transactions an Microwave Theory and Techniques, Band 57, Nr. 4, April 2009, S. 856-862 1;
L. J. Milosevic, R. Vaurey: Traveling-Wave Resonators, IRE Transactions an Microwave Theory and Techniques, April 1958, S. 136-143 1
Citing documents Determine documents
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Search file IPC ICP H01J 25/34
H05H 1/46