| 54 |
Titel |
TI |
[DE] Vorrichtung zur beidseitigen Bearbeitung von flachen Werkstücken sowie Verfahren zur gleichzeitigen beidseitigen Material abtragenden Bearbeitung mehrerer Halbleiterscheiben |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
Peter Wolters GmbH, 24768 Rendsburg, DE
;
Siltronic AG, 81737 München, DE
|
| 72 |
Erfinder |
IN |
Bechtolsheim, Conrad von, Dr., 24787 Fockbek, DE
;
Kerstan, Michael, 84489 Burghausen, DE
;
Möller, Helge, 24943 Flensburg, DE
;
Pietsch, Georg, Dr., 84489 Burghausen, DE
;
Runkel, Frank, 24817 Tetenhusen, DE
|
| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
26.08.2009 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
102009038942 |
|
Anmeldeland |
AC |
DE |
|
Veröffentlichungsdatum |
PUB |
29.04.2010 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
DE
102008052793
22.10.2008
|
33
31
32 |
PRC
PRN
PRD |
DE
102008061038
03.12.2008
|
| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
B24B 7/17
(2006.01)
|
| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
B24B 37/04
(2006.01)
H01L 21/304
(2006.01)
|
|
IPC-Zusatzklasse |
ICA |
|
|
IPC-Indexklasse |
ICI |
|
|
Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
B24B 37/08
B24B 47/12
B24B 7/17
H01L 21/304
|
|
MCD-Hauptklasse |
MCM |
B24B 7/17
(2006.01)
|
|
MCD-Nebenklasse |
MCS |
B24B 37/08
(2012.01)
H01L 21/304
(2006.01)
|
|
MCD-Zusatzklasse |
MCA |
|
| 57 |
Zusammenfassung |
AB |
[DE] Vorrichtung zur beidseitigen Bearbeitung von flachen Werkstücken (1), umfassend eine obere Arbeitsscheibe (4b) und eine untere Arbeitsscheibe (4a), wobei mindestens eine der Arbeitsscheiben (4a, 4b) mittels eines Antriebs drehend antreibbar ist, und wobei die Arbeitsscheiben (4a, 4b) zwischen sich einen Arbeitsspalt (64) bilden, in dem mindestens eine Läuferscheibe (5) mit mindestens einer Ausnehmung (25) für mindestens ein zu bearbeitendes Werkstück (1) angeordnet ist, wobei die mindestens eine Läuferscheibe (5) an ihrem Umfang eine Verzahnung (10) aufweist, mit der sie sich an einem inneren und einem äußeren Zahn- oder Stiftkranz (7a, 7b) abwälzt, wenn mindestens einer der Zahn- oder Stiftkränze (7a, 7b) in Rotation versetzt wird, wobei die Zahn- oder Stiftkränze (7a, 7b ) jeweils eine Vielzahl von Zahn- oder Stiftanordnungen aufweisen, mit denen die Zähne (10) der Läuferscheiben (5) beim Abwälzen in Eingriff gelangen, wobei mindestens eine der Stiftanordnungen mindestens eine Führung (48) aufweist, die eine Bewegung des Rands der mindestens einen Läuferscheibe (5) in mindestens einer axialen Richtung begrenzt, dadurch gekennzeichnet, dass eine Führung (48) durch mindestens einen um den Umfang der Stiftanordnung verlaufenden Absatz (50) zwischen einem ersten größeren Durchmesser und einem zweiten kleineren Durchmesser der Stiftanordnung gebildet ist und dass eine weitere Führung (48) durch die Seitenflächen (56, 58) mindestens einer um den Umfang der Stiftanordnung ... |
| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
EP000000924030A2
JP000002945110B2
JP000H04129667A
JP002006068888A
|
| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
DE000010159848B1
DE000010007389A1
DE000010218483B4
DE000010344602A1
DE000029520741U1
DE102006032455A1
DE102007013058A1
EP000000787562B1
JP000H11254303A
US000005958794A
US000006007407A
US000006599177B2
|
| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
|
| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
|
|
Zitierende Dokumente |
|
Dokumente ermitteln
|
|
Sequenzprotokoll |
|
|
|
Prüfstoff-IPC |
ICP |
B24B 37/08 A
B24B 7/17 A
H01L 21/304
H01L 21/683
|
