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Document DE000019647975A1 (Pages: 14)

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INID Criterion Field Contents
54 Title TI [DE] Reflexionselektronenmikroskop
[EN] Reflection electron microscope
71/73 Applicant/owner PA Focus GmbH Geräte zur Elektronenspektroskopie und Oberflächenanalytik, 65510 Hünstetten, DE
72 Inventor IN Grzelakowski, Krzystop, Dr., 65510 Hünstetten, DE
22/96 Application date AD Nov 20, 1996
21 Application number AN 19647975
Country of application AC DE
Publication date PUB May 28, 1997
33
31
32		 Priority data PRC
PRN
PRD		 DE
19543652
19951123
51 IPC main class ICM H01J 37/29
51 IPC secondary class ICS
IPC additional class ICA
IPC index class ICI
Cooperative patent classification CPC H01J 2237/151
H01J 37/29
MCD main class MCM H01J 37/04 (2006.01)
MCD secondary class MCS H01J 37/244 (2006.01)
H01J 37/29 (2006.01)
MCD additional class MCA
57 Abstract AB [DE] Es wird ein Elektronenmikroskop (1) beschrieben, mit dem verschiedene Untersuchungsverfahren durchgeführt werden können. In der hinteren Brennebene (10) der Objektivlinse (4) oder in einer ihrer konjugierten Ebenen (12) ist ein Elektronenreflektor (15) angeordnet und derart ausgerichtet, daß der von der Elektronenquelle (14) kommende Primärstrahl (20) auf die zu untersuchende Probe (3) umgelenkt wird. Die Reflektorspitze (16) kann aus einem Einkristall oder aus einem polykristallinen Material bestehen.
[EN] The microscope (1) has an electron source (14), an imaging system with at least one objective lens (4) and a projection lens (6,7) and a light screen (9) and/or an electron multiplier (8). An electron reflector (15) is positioned in the rear image plane (10) of the objective lens (4), or in the conjugal plane (12), for deflecting the primary beam (20) provided by the electron source onto the microscope sample (3). Pref. the electron deflector has a reflection point inserted in the beam path of the imaging system and provided by a single crystal or a polycrystalline material.
56 Cited documents identified in the search CT
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56 Cited non-patent literature identified in the search CTNP
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Search file IPC ICP H01J 37/29