Bibliographic data

Document DE102009016701A1 (Pages: 8)

Bibliographic data Document DE102009016701A1 (Pages: 8)
INID Criterion Field Contents
54 Title TI [DE] Prozesskammer mit modulierter Plasmaversorgung
71/73 Applicant/owner PA Forschungsverbund Berlin e.V., 12489 Berlin, DE
72 Inventor IN Gesche, Roland, Dr., 63500 Seligenstadt, DE
22/96 Application date AD Apr 6, 2009
21 Application number AN 102009016701
Country of application AC DE
Publication date PUB Oct 14, 2010
33
31
32		 Priority data PRC
PRN
PRD

51 IPC main class ICM H05H 1/30 (2006.01)
51 IPC secondary class ICS
IPC additional class ICA
IPC index class ICI
Cooperative patent classification CPC H01J 37/32082
H01J 37/32137
MCD main class MCM H05H 1/30 (2006.01)
MCD secondary class MCS
MCD additional class MCA
57 Abstract AB [DE] Eine Plasmakammer mit einer an einer ersten Seite befestigten ersten Aufnahmevorrichtung für ein Substrat und mit einer Plasmaerzeugungseinheit, welche mit einer Hochfrequenzspannungsversorgung verbunden oder verbindbar ist. Die Hochfrequenzspannungsversorgung ist ausgebildet, eine modulierte hochfrequente Wechselspannung zu erzeugen.
56 Cited documents identified in the search CT DE000010195251T5
DE000069527661T2
US000005936352A
US020020139658A1
US020090101283A1
WO002002075332A1
56 Cited documents indicated by the applicant CT
56 Cited non-patent literature identified in the search CTNP
56 Cited non-patent literature indicated by the applicant CTNP
Citing documents Determine documents
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Search file IPC ICP H05H 1/30