Bibliographic data

Document DE102008056574A1 (Pages: 37)

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INID Criterion Field Contents
54 Title TI [DE] Halbleiterbauelement und Verfahren zur Herstellung desselben
71/73 Applicant/owner PA Infineon Technologies Austria AG, Villach, AT
72 Inventor IN Kaindl, Winfried, Dr. rer. nat., 82008 Unterhaching, DE ; Rüb, Michael, Dr. rer. nat., Faak am See, AT ; Tolksdorf, Carolin, Dr.-Ing., 85643 Steinhöring, DE ; Willmeroth, Armin, Dipl.-Phys., 86163 Augsburg, DE
22/96 Application date AD Nov 10, 2008
21 Application number AN 102008056574
Country of application AC DE
Publication date PUB Jun 25, 2009
33
31
32
Priority data PRC
PRN
PRD
US
96305707
20071221
51 IPC main class ICM H01L 29/78 (2006.01)
51 IPC secondary class ICS H01L 21/336 (2006.01)
H01L 21/78 (2006.01)
H01L 29/06 (2006.01)
H01L 29/739 (2006.01)
IPC additional class ICA
IPC index class ICI
Cooperative patent classification CPC H01L 29/0634
H01L 29/0653
H01L 29/0696
H01L 29/0839
H01L 29/1095
H01L 29/41766
H01L 29/42368
H01L 29/7396
H01L 29/7802
MCD main class MCM H01L 29/78 (2006.01)
MCD secondary class MCS H01L 21/336 (2006.01)
H01L 21/78 (2006.01)
H01L 29/06 (2006.01)
H01L 29/739 (2006.01)
MCD additional class MCA
57 Abstract AB [DE] Ein Halbleiterbauelement weist einen Halbleiterkörper auf, der auf einander gegenüberliegenden Oberflächen eine erste Elektrode und eine zweite Elektrode aufweist. Eine Steuerelektrode auf einer Isolationsschicht steuert Kanalbereiche von Bodyzonen in dem Halbleiterkörper für einen Stromfluss zwischen den beiden Elektroden. Eine Driftstrecke, die sich an die Kanalbereiche anschließt, weist Driftzonen sowie Ladungskompensationszonen auf. Ein Teil der Ladungskompensationszonen sind leitend angeschlossene Ladungskompensationszonen, die mit der ersten Elektrode elektrisch in Verbindung stehen. Ein anderer Teil sind nahezu floatende Ladungskompensationszonen, so dass eine vergrößerte Steuerelektrodenfläche eine monolithisch integrierte Zusatzkapazität CZGD in einem Zellenbereich des Halbleiterbauelements aufweist.
56 Cited documents identified in the search CT US000006633064B2
US000006803609B1
US020040056284A1
56 Cited documents indicated by the applicant CT
56 Cited non-patent literature identified in the search CTNP
56 Cited non-patent literature indicated by the applicant CTNP
Citing documents Determine documents
Sequence listings
Search file IPC ICP H01L 21/331
H01L 21/336
H01L 29/06
H01L 29/417
H01L 29/739
H01L 29/78