54 |
Title |
TI |
[DE] Halbleiterbauelement und Verfahren zur Herstellung desselben |
71/73 |
Applicant/owner |
PA |
Infineon Technologies Austria AG, Villach, AT
|
72 |
Inventor |
IN |
Kaindl, Winfried, Dr. rer. nat., 82008 Unterhaching, DE
;
Rüb, Michael, Dr. rer. nat., Faak am See, AT
;
Tolksdorf, Carolin, Dr.-Ing., 85643 Steinhöring, DE
;
Willmeroth, Armin, Dipl.-Phys., 86163 Augsburg, DE
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22/96 |
Application date |
AD |
Nov 10, 2008 |
21 |
Application number |
AN |
102008056574 |
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Country of application |
AC |
DE |
|
Publication date |
PUB |
Jun 25, 2009 |
33 31 32 |
Priority data |
PRC PRN PRD |
US
96305707
20071221
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51 |
IPC main class |
ICM |
H01L 29/78
(2006.01)
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51 |
IPC secondary class |
ICS |
H01L 21/336
(2006.01)
H01L 21/78
(2006.01)
H01L 29/06
(2006.01)
H01L 29/739
(2006.01)
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IPC additional class |
ICA |
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IPC index class |
ICI |
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Cooperative patent classification |
CPC |
H01L 29/0634
H01L 29/0653
H01L 29/0696
H01L 29/0839
H01L 29/1095
H01L 29/41766
H01L 29/42368
H01L 29/7396
H01L 29/7802
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MCD main class |
MCM |
H01L 29/78
(2006.01)
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MCD secondary class |
MCS |
H01L 21/336
(2006.01)
H01L 21/78
(2006.01)
H01L 29/06
(2006.01)
H01L 29/739
(2006.01)
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MCD additional class |
MCA |
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57 |
Abstract |
AB |
[DE] Ein Halbleiterbauelement weist einen Halbleiterkörper auf, der auf einander gegenüberliegenden Oberflächen eine erste Elektrode und eine zweite Elektrode aufweist. Eine Steuerelektrode auf einer Isolationsschicht steuert Kanalbereiche von Bodyzonen in dem Halbleiterkörper für einen Stromfluss zwischen den beiden Elektroden. Eine Driftstrecke, die sich an die Kanalbereiche anschließt, weist Driftzonen sowie Ladungskompensationszonen auf. Ein Teil der Ladungskompensationszonen sind leitend angeschlossene Ladungskompensationszonen, die mit der ersten Elektrode elektrisch in Verbindung stehen. Ein anderer Teil sind nahezu floatende Ladungskompensationszonen, so dass eine vergrößerte Steuerelektrodenfläche eine monolithisch integrierte Zusatzkapazität CZGD in einem Zellenbereich des Halbleiterbauelements aufweist. |
56 |
Cited documents identified in the search |
CT |
US000006633064B2 US000006803609B1 US020040056284A1
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56 |
Cited documents indicated by the applicant |
CT |
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56 |
Cited non-patent literature identified in the search |
CTNP |
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56 |
Cited non-patent literature indicated by the applicant |
CTNP |
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Citing documents |
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Determine documents
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Sequence listings |
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Search file IPC |
ICP |
H01L 21/331
H01L 21/336
H01L 29/06
H01L 29/417
H01L 29/739
H01L 29/78
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