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Titel |
TI |
[DE] Verfahren zur Erzeugung einer mikromechanischen Struktur |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686, München, DE
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| 72 |
Erfinder |
IN |
Drabe, Christian, 01099, Dresden, DE
;
Jung, Denis, 01099, Dresden, DE
;
Klose, Thomas, 01109, Dresden, DE
;
Sandner, Thilo, Dr., 01156, Dresden, DE
;
Schenk, Harald, Dr., 01139, Dresden, DE
;
Wolter, Alexander, Dr., 01156, Dresden, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
07.03.2008 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
102008013116 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
11.04.2013 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
DE
102007015720
20070402
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
B81C 1/00
(2006.01)
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
B81B 5/00
(2006.01)
B81B 7/02
(2006.01)
G02B 26/10
(2006.01)
H01L 21/46
(2013.01)
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
B81B 2203/0384
B81B 2203/04
B81C 1/00103
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
B81C 1/00
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
B81B 5/00
(2006.01)
B81B 7/02
(2006.01)
G02B 26/10
(2006.01)
H01L 21/46
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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Zusammenfassung |
AB |
[DE] Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Struktur mit folgenden Schritten: Ausbilden (2) einer zweidimensionalen Struktur (12, 16) in einem Substrat (10), wobei die zweidimensionale Struktur eine Elektrode (12) und eine Gegenelektrode (16) aufweist; mechanisches Einwirken (4) auf die Gegenelektrode (16) durch einen Mikromanipulator (26), um die Gegenelektrode (16) aus der Substratebene auszulenken und gegen eine weitere Substratschicht (28) oder eine Mesastruktur (60) zu bewegen, wobei die weitere Substratschicht (28) oder die Mesastruktur (60) mit einem Abstand von dem Substrat (10) angeordnet wird, der von einem erwünschten Drehwinkel der Gegenelektrode (16) abhängt; und Fixieren (6) der Gegenelektrode (16) im ausgelenkten Zustand an der weiteren Substratschicht (28) oder der Mesastruktur (60). |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
FR000002880731A1
US020050013087A1
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| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
B81B 5/00
B81B 7/02
B81C 1/00
H01L 21/46
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