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Titel |
TI |
[DE] Mikromechanisches Bauelement mit verkippten Elektroden |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686, München, DE
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| 72 |
Erfinder |
IN |
Drabe, Christian, 01099, Dresden, DE
;
Jung, Denis, 01099, Dresden, DE
;
Klose, Thomas, 01097, Dresden, DE
;
Sandner, Thilo, Dr., 01156, Dresden, DE
;
Schenk, Harald, Dr., 01139, Dresden, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
06.03.2008 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
102008012825 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
25.08.2011 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
DE
102007015723
20070402
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
B81B 3/00
(2006.01)
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
B81B 7/02
(2006.01)
G02B 26/08
(2006.01)
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
G02B 26/0841
G02B 26/085
G02B 26/0858
G02B 26/0866
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
B81B 3/00
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
B81B 7/02
(2006.01)
G02B 26/08
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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| 57 |
Zusammenfassung |
AB |
[DE] Mikromechanisches Bauelement, mit folgenden Merkmalen: einer mikromechanischen Funktionsstruktur (1), die um eine Hauptachse (13) aus einer Ruhelage auslenkbar ist; einer beweglichen Elektrode (3), die an der mikromechanischen Funktionsstruktur (1) befestigt ist; einer festen Elektrode (4); und Aufhängungen (6a, 6b) für die feste Elektrode (4), die eine Verkippungsachse (10) definieren, wobei die feste Elektrode (4) bei der Herstellung des Bauelements um die Verkippungsachse (10) gegenüber der beweglichen Elektrode (3) in der Ruhelage verkippbar ist und in dieser Position verbleibt, und wobei die Verkippungsachse (10) benachbart zu der Hauptachse (13) ist oder mit der Hauptachse (13) identisch ist, wobei die Verkippungsachse (10), die benachbart zu der Hauptachse ist, näher an der Hauptachse (13) angeordnet ist, als an einem freien Ende der beweglichen Elektrode (3), die an der mikromechanischen Funktionsstruktur (1) befestigt ist. |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
EP000001123526A1
EP000001659437A2
JP002004219839A
JP002006334697A
US000006891650B2
US000007034370B2
US000007078778B2
US000007279761B2
US020030019832A1
US020030082917A1
US020060054983A1
US020060279169A1
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| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
D. Hah et al., "Theory and Experiments of Angular Vertical Corp- Drive Actuators for Scanning Micromirrors", IEEE Journal of Selected Topics In Quantum Electronics, Bd. 10, Nr. 3, Mai/Juni 2004, S. 505 f p 0;
H. Schenk et al, "Micro-Opto-Electro-Mechanical-Systems Technology and its impact an photonic applications", J. Microlithography, Microfabrication and Microsystems, Bd. 4, Nr. 4 , 2005, S. 41.501-11 p 0;
Huikai Xie et al., "A CMOS-MEMS Mirror with Curled-Hinge Comb Drives", Journal of Microelectromechanical Systems, Vol. 12, No. 4, August 2003 p 0;
J.Kim et al., "Microfabricated Torsional Actuators using self- aligned plastic deformation of silicon", J. Micromechanical Systems, Bd. 15, Nr. 3, Juni 2006, S. 553 ff p 0;
Pamela R. Patterson et al.,"A scanning Micromirror with angular comb drive actuation", The Fifteenth IEEE International Conference on Micro Electro Mechaniccal Systems, 2002, S. 544-547 p 0;
R.R.A. Syms et al., "Improving yield, accuracy and complexity in surface tension self-assembled MOEMS", Sensors and Actuators A 88 (2001), S. 273-283 p 0
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Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
B81B 3/00
B81B 7/02
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