Bibliographic data

Document DE102007055010A1 (Pages: 6)

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INID Criterion Field Contents
54 Title TI [DE] Verfahren und Generatorschaltung zur Erzeugung von Plasmen mittels Hochfrequenzanregung
71/73 Applicant/owner PA Forschungsverbund Berlin e.V., 12489 Berlin, DE
72 Inventor IN Gesche, Roland, Dr., 63500 Seligenstadt, DE
22/96 Application date AD Nov 14, 2007
21 Application number AN 102007055010
Country of application AC DE
Publication date PUB May 28, 2009
33
31
32		 Priority data PRC
PRN
PRD

51 IPC main class ICM H05H 1/46 (2006.01)
51 IPC secondary class ICS H01J 37/32 (2006.01)
H05H 1/24 (2006.01)
IPC additional class ICA
IPC index class ICI
Cooperative patent classification CPC H01J 37/32082
H01J 37/32165
H05H 1/46
MCD main class MCM H05H 1/46 (2006.01)
MCD secondary class MCS H01J 37/32 (2006.01)
H05H 1/24 (2006.01)
MCD additional class MCA
57 Abstract AB [DE] Zur Bereitstellung einer das Plasma aufrechterhaltenden Spannung wird nach dem Verfahren einer hochfrequenten Spannung mit einer definierten Arbeitsfrequenz mindestens eine weitere hochfrequente Spannung mit jeweils einem Vielfachen dieser Arbeitsfrequenz und jeweils einstellbarer Amplitude und Phase phasenstarr überlagert. Für eine entsprechende Generatorschaltung sind mindestens zwei Hochfrequenz-Leistungsgeneratoren (1 bis 4) vorgesehen, von denen einer (1) bei einer definierten Arbeitsfrequenz (f) und der oder die anderen (2 bis 4) bei jeweils einem Vielfachen dieser Arbeitsfrequenz (f) arbeiten. Alle Hochfrequenz-Leistungsgeneratoren (1 bis 4) sind phasenstarr miteinander gekoppelt und die relative Phasenlage sowie die jeweilige Amplitude jedes Hochfrequenz-Leistungsgenerators (1 bis 4) sind mittels einer eigenen Anpassungsschaltung (5 bis 8) einzeln regelbar. Alternativ dazu kann ein bei einer definierten Arbeitsfrequenz (f) arbeitender Oszillator und mindestens ein weiterer, dem Oszillator nachgeschalteter Frequenzvervielfacher vorgesehen sein, der oder die Harmonische dieser Arbeitsfrequenz (f) erzeugen.
56 Cited documents identified in the search CT DD000000295061B5
DE102006052061A1
US000006537421B2
US000007084369B2
US020040035837A1
US020060232471A1
56 Cited documents indicated by the applicant CT
56 Cited non-patent literature identified in the search CTNP
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Search file IPC ICP H01J 37/32 HF
H01J 37/32 S
H05H 1/46 S