| 54 |
Titel |
TI |
[DE] Mikromechanisches Bauelement mit erhöhter Steifigkeit |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE
|
| 72 |
Erfinder |
IN |
Drabe, Christian, 01099 Dresden, DE
;
Klose, Thomas, 01109 Dresden, DE
|
| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
30.10.2007 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
102007051820 |
|
Anmeldeland |
AC |
DE |
|
Veröffentlichungsdatum |
PUB |
23.10.2008 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
DE
102007015718
20070402
|
| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
B81B 3/00
(2006.01)
|
| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
B81B 7/02
(2006.01)
G02B 26/10
(2006.01)
|
|
IPC-Zusatzklasse |
ICA |
|
|
IPC-Indexklasse |
ICI |
|
|
Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
G02B 26/0841
|
|
MCD-Hauptklasse |
MCM |
B81B 3/00
(2006.01)
|
|
MCD-Nebenklasse |
MCS |
B81B 7/02
(2006.01)
G02B 26/10
(2006.01)
|
|
MCD-Zusatzklasse |
MCA |
|
| 57 |
Zusammenfassung |
AB |
[DE] Ein mikromechanisches Bauelement umfasst eine auslenkbare mikromechanische Funktionsstruktur und eine nichtstarre, vorgespannte Aufhängung, die die mikromechanische Funktionsstruktur in dem mikromechanischen Bauelement positioniert. |
| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
DE000019813941A1
DE000019941045A1
US000004598585A
US020030019832A1
WO002001089986A1
WO002003073597A1
|
| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
EP000001338553A2
WO002007121693A1
|
| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
C. Drabe et al.: "A large deflection translatory actuator for optical path length modulation." Proc. SPIE Vol. 6.186,618.604, 21. April 2006, S. 1-8 n;
H. Schenk; "Ein neuartiger Mikroaktor zur ein- und zweidimensionalen Ablenkung von Licht"; Dissertation (2000), S. 40/41 n
|
| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
"A large deflection translatory actuator for optical path length modulation", Proc. SPIE Vol. 6.186, 618.604, 21. April 2006 1;
"Untersuchung von nichtresonanten Antriebsprinzipien für Mikroscannerspiegel zur niederfrequenten bzw. quasistatischen Lichtablenkung", Diplomarbeit 2006, TU Dresden 1;
H. Schenk "Ein neuartiger Mikroaktor zur ein- und zweidimensionalen Ablenkung von Licht" 1;
J. Mehner in "Entwurf in der Mikrosystemtechnik", Dresden University Press, 1999 1;
T. Kießling u. a. in "Bulk micro machined quasistatic torsional micro mirror", in Proceedings von SPIE, MOEMS and Miniaturized Systems, 2004 1
|
|
Zitierende Dokumente |
|
keine Treffer
|
|
Sequenzprotokoll |
|
|
|
Prüfstoff-IPC |
ICP |
B81B 3/00
B81B 7/02
G02B 26/08
|
