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Titel |
TI |
[DE] Mikromechanisches Bauelement mit erhöhter Steifigkeit |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE
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| 72 |
Erfinder |
IN |
Drabe, Christian, 01099 Dresden, DE
;
Klose, Thomas, 01109 Dresden, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
30.10.2007 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
102007051820 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
23.10.2008 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
DE
102007015718
20070402
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
B81B 3/00
(2006.01)
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
B81B 7/02
(2006.01)
G02B 26/10
(2006.01)
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
G02B 26/0841
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
B81B 3/00
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
B81B 7/02
(2006.01)
G02B 26/10
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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Zusammenfassung |
AB |
[DE] Ein mikromechanisches Bauelement umfasst eine auslenkbare mikromechanische Funktionsstruktur und eine nichtstarre, vorgespannte Aufhängung, die die mikromechanische Funktionsstruktur in dem mikromechanischen Bauelement positioniert. |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
DE000019813941A1
DE000019941045A1
US000004598585A
US020030019832A1
WO002001089986A1
WO002003073597A1
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| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
EP000001338553A2
WO002007121693A1
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
C. Drabe et al.: "A large deflection translatory actuator for optical path length modulation." Proc. SPIE Vol. 6.186,618.604, 21. April 2006, S. 1-8 n;
H. Schenk; "Ein neuartiger Mikroaktor zur ein- und zweidimensionalen Ablenkung von Licht"; Dissertation (2000), S. 40/41 n
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
"A large deflection translatory actuator for optical path length modulation", Proc. SPIE Vol. 6.186, 618.604, 21. April 2006 1;
"Untersuchung von nichtresonanten Antriebsprinzipien für Mikroscannerspiegel zur niederfrequenten bzw. quasistatischen Lichtablenkung", Diplomarbeit 2006, TU Dresden 1;
H. Schenk "Ein neuartiger Mikroaktor zur ein- und zweidimensionalen Ablenkung von Licht" 1;
J. Mehner in "Entwurf in der Mikrosystemtechnik", Dresden University Press, 1999 1;
T. Kießling u. a. in "Bulk micro machined quasistatic torsional micro mirror", in Proceedings von SPIE, MOEMS and Miniaturized Systems, 2004 1
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
B81B 3/00
B81B 7/02
G02B 26/08
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