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Titel |
TI |
[DE] Auslenkbare Struktur, mikromechanische Struktur mit derselben und Verfahren zur Einstellung einer mikromechanischen Struktur |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686, München, DE
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| 72 |
Erfinder |
IN |
Drabe, Christian, 01099, Dresden, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
02.04.2007 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
102007015726 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
29.09.2011 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
B81B 3/00
(2006.01)
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
B81B 7/02
(2006.01)
B81C 1/00
(2006.01)
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
B81B 2203/051
B81B 2203/058
B81B 3/0054
Y10T 428/24025
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
B81B 3/00
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
B81B 7/02
(2006.01)
B81C 1/00
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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| 57 |
Zusammenfassung |
AB |
[DE] Auslenkbare Struktur, mit einem ersten Bereich (110; 210) und einem zweiten Bereich (112) gebildet in einer Schicht (102); einer Grabenstruktur (104) in der Schicht (102), die die Schicht (102) durchdringt und den ersten Bereich (110; 210) von dem zweiten Bereich (112) trennt; einer ersten Verbindungsstelle (106; 206) zwischen dem ersten Bereich (110; 210) und dem zweiten Bereich (112); und einer zweiten Verbindungsstelle (108; 208) zwischen dem ersten Bereich (110; 210) und dem zweiten Bereich (112); wobei der erste Bereich (110; 210) durch einen Bruch der zweiten Verbindungsstelle (108; 208) aus einer ersten, dauerhaften Position bezüglich des zweiten Bereichs (112) in eine zweite, gegenüber der ersten Position ausgelenkte Position bezüglich des zweiten Bereichs (112) bewegbar ist, wobei der erste Bereich (110; 210) nach dem Auslenken aufgrund einer in den ersten Bereich (110; 210) eingebauten intrinsischen Spannung in der zweiten Position verbleibt. |
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Korrekturinformation |
KORRINF |
angef.26.07.11 ms erl.03.08.11
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| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
DE000010220371A1
DE000010241450A1
US000006668628B2
US000006819822B2
US000006840642B2
US000007195946B2
US020020012490A1
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| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
V.P.Jaecklin et al., "Optical microshutters and torsional micromirrors for lightmodulator arrays", Micro Electro Mechanical Systems, 1993, MEMS '93, Proceedings, IEEE, 7-10 Feb. 1993, pp 124-127 p 0
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
B81B 3/00
B81B 7/02
B81C 1/00
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