| 54 |
Title |
TI |
[DE] Auslenkbare Struktur, mikromechanische Struktur mit derselben und Verfahren zur Einstellung einer mikromechanischen Struktur |
| 71/73 |
Applicant/owner |
PA |
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686, München, DE
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| 72 |
Inventor |
IN |
Drabe, Christian, 01099, Dresden, DE
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| 22/96 |
Application date |
AD |
Apr 2, 2007 |
| 21 |
Application number |
AN |
102007015726 |
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Country of application |
AC |
DE |
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Publication date |
PUB |
Sep 29, 2011 |
33
31
32 |
Priority data |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC main class |
ICM |
B81B 3/00
(2006.01)
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| 51 |
IPC secondary class |
ICS |
B81B 7/02
(2006.01)
B81C 1/00
(2006.01)
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IPC additional class |
ICA |
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IPC index class |
ICI |
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Cooperative patent classification |
CPC |
B81B 2203/051
B81B 2203/058
B81B 3/0054
Y10T 428/24025
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MCD main class |
MCM |
B81B 3/00
(2006.01)
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MCD secondary class |
MCS |
B81B 7/02
(2006.01)
B81C 1/00
(2006.01)
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MCD additional class |
MCA |
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| 57 |
Abstract |
AB |
[DE] Auslenkbare Struktur, mit einem ersten Bereich (110; 210) und einem zweiten Bereich (112) gebildet in einer Schicht (102); einer Grabenstruktur (104) in der Schicht (102), die die Schicht (102) durchdringt und den ersten Bereich (110; 210) von dem zweiten Bereich (112) trennt; einer ersten Verbindungsstelle (106; 206) zwischen dem ersten Bereich (110; 210) und dem zweiten Bereich (112); und einer zweiten Verbindungsstelle (108; 208) zwischen dem ersten Bereich (110; 210) und dem zweiten Bereich (112); wobei der erste Bereich (110; 210) durch einen Bruch der zweiten Verbindungsstelle (108; 208) aus einer ersten, dauerhaften Position bezüglich des zweiten Bereichs (112) in eine zweite, gegenüber der ersten Position ausgelenkte Position bezüglich des zweiten Bereichs (112) bewegbar ist, wobei der erste Bereich (110; 210) nach dem Auslenken aufgrund einer in den ersten Bereich (110; 210) eingebauten intrinsischen Spannung in der zweiten Position verbleibt. |
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Information on correction |
KORRINF |
angef.26.07.11 ms erl.03.08.11
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| 56 |
Cited documents identified in the search |
CT |
DE000010220371A1
DE000010241450A1
US000006668628B2
US000006819822B2
US000006840642B2
US000007195946B2
US020020012490A1
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| 56 |
Cited documents indicated by the applicant |
CT |
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| 56 |
Cited non-patent literature identified in the search |
CTNP |
V.P.Jaecklin et al., "Optical microshutters and torsional micromirrors for lightmodulator arrays", Micro Electro Mechanical Systems, 1993, MEMS '93, Proceedings, IEEE, 7-10 Feb. 1993, pp 124-127 p 0
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| 56 |
Cited non-patent literature indicated by the applicant |
CTNP |
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Citing documents |
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Determine documents
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Sequence listings |
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Search file IPC |
ICP |
B81B 3/00
B81B 7/02
B81C 1/00
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