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Titel |
TI |
[DE] Verfahren zur Herstellung eines zweiphasigen Schichtwerkstoffs |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
Leibniz-Institut für Neue Materialien gem. GmbH, 66123 Saarbrücken, DE
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| 72 |
Erfinder |
IN |
Kuhn, Patrick, 66701 Beckingen, DE
;
Mathur, Sanjay, Prof., 66125 Saarbrücken, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
09.10.2006 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
102006048000 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
10.04.2008 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
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IPC-Hauptklasse |
ICM |
C23C 16/08
(2006.01)
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
C23C 16/503
(2006.01)
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
C23C 16/30
C23C 16/308
C23C 16/515
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
C23C 16/08
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
C23C 16/503
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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Zusammenfassung |
AB |
[DE] Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines zweiphasigen Schichtwerkstoffs durch Schichtabscheidung im plasmaunterstützten CVD-Verfahren. Um einen zweiphasigen Schichtwerkstoff mit System Titan-Stickstoff-Sauerstoff herzustellen, wird im Rahmen der Erfindung vorgeschlagen, dass ein metallisches Substrat auf einer Kathode angeordnet wird und eine Titanquelle in eine Wasserstoff-Argon-Stickstoff-Atomsphäre zugegeben wird. In dem erfindungsgemäßen Verfahren wird der zweiphasige Schichtwerkstoff in Form von nanokristallinen Titannitrid-Ausscheidungen in einer amorphen Titanoxid-Matrix durch Zugabe von Titanisopropylat in eine Wasserstoff-Argon-Stickstoff-Atmosphäre unter Verwendung einer gepulsten Gleichstrom-Glimmentladung hergestellt. Darüber hinaus ist es möglich, die Schichteigenschaften gezielt einzustellen. |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
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Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
C23C 16/08
C23C 16/30
C23C 16/503
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