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Titel |
TI |
[DE] Solarzelle mit strukturierter Rückseitenpassivierungsschicht aus SIO<SUB>x</SUB> und SIN<SUB>x</SUB> sowie Verfahren zur Herstellung [EN] Silicon-based solar cell comprises front-end contacts that are placed on a front-end doped surface layer and a passivation layer with backside contacts that is placed on the backside doped layer |
71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE
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72 |
Erfinder |
IN |
Hofmann, Marc, 79232 March, DE
;
Kambor, Stephan, 79110 Freiburg, DE
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22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
02.10.2006 |
21 |
Anmeldenummer |
AN |
102006046726 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
03.04.2008 |
33 31 32 |
Priorität |
PRC PRN PRD |
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51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
H01L 31/0224
(2006.01)
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51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
H10F 10/14
H10F 10/16
H10F 77/14
H10F 77/211
H10F 77/311
H10F 77/337
H10F 77/48
Y02E 10/52
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
H01L 31/0224
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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Zusammenfassung |
AB |
[DE] strukturierter Rückseitenpassivierungsschicht sowie Verfahren zu deren Herstellung. Die Rückseitenpassivierungsschicht ist dabei auf der innen liegenden, der Rückseite der Solarzelle zugewandten, dotierten Schicht der Solarzelle aufgebracht und besteht aus alternierenden Schichten aus SiNx sowie SiOx. Die Schichtstruktur der Rückseitenpassivierungsschicht kann über einen CVD-Prozess hergestellt werden. [EN] Silicon-based solar cell comprises front-end (FE) contacts that are placed on a front-end doped surface layer and at least a passivation layer with backside (BS) contacts that is placed on the backside doped layer, where the backside passivation layer is composed of at least one silicon oxide layer that is placed on the backside doped layer, at least a silicon nitride layer that is deposited on the silicon oxide layer and at least an additional superimposed silicon oxide layer. An independent claim is included for preparing the silicon-based solar cell comprising applying the backside passivation layers on the silicon wafer by chemical or physical vapor deposition process. |
56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate, in Recherche ermittelt |
CT |
DE000010046170A1 US000005462898A
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56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate, vom Anmelder genannt |
CT |
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56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate, in Recherche ermittelt |
CTNP |
Schultz,O., Hofmann,M., Glunz,S.W., Willeke,G.P.: SILICON OXIDE / SILICON NITRIDE STACK SYSTEM FOR 20% EFFICIENT SILICON SOLAR CELLS. In: 0-7803-8707-4/05 (C) 2005 IEEE, S. 872-876 0; Schultz,O.; Hofmann, M.; Glunz, S.; Willeke, G. P.: SILICON OXIDE / SILICON NITRIDE STACK SYSTEM FOR 20% EFFICIENT SILICON SOLAR CELLS. In: 0-7803-8707-4/05 (C) 2005 IEEE, S. 872-876 n
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56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate, vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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CN000102405533A
CN000103155161A
CN000103733349A
CN000103918089A
CN000104347759A
CN000108365023A
CN000109494264A
CN000114050190A
DE102009010816A1
DE102009010816B4
DE102009061071B3
DE102010016992A1
DE102010016992B4
DE102010025983A1
DE102011056039A1
DE102012100184A1
DE102012100184B4
DE102012101456A1
DE102013106272A1
DE102013106272B4
DE102013107174A1
DE102013107174B4
DE112010005950T5
EP000002195853A4
EP000002212921A4
EP000002412035A4
EP000002538447A3
EP000002816610A1
FR000002989520A1
US000008759140B2
US000008828790B2
US000009136126B2
US000009276155B2
US000009293608B2
US000009461195B2
US000009825190B2
US000010199523B2
US000012243952B2
US020090283143A1
US020110197964A1
WO002010007560A3
WO002010022889A1
WO002010091466A1
WO002010144527A2
WO002011107094A3
WO002011131000A1
WO002013023169A1
WO002013036689A1
WO002013153293A1
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
H01L 31/0224
H01L 31/18 EL
H01L 31/18 LFC
H01L 31/18 P
H01L 31/18 TEX
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