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Title |
TI |
[DE] Kompositzusammensetzung für mikrostrukturierte Schichten |
| 71/73 |
Applicant/owner |
PA |
Canon K.K., Tokio/Tokyo, JP
;
Leibniz-Institut für Neue Materialien gemeinnützige GmbH, 66123 Saarbrücken, DE
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| 72 |
Inventor |
IN |
Becker-Willinger, Carsten, 66130 Saarbrücken, DE
;
Hino, Etsuko, Tokyo, JP
;
Kalmes, Pamela, 66589 Merchweiler, DE
;
Noguchi, Mitsutoshi, Tokyo, JP
;
Ohkuma, Norio, Tokyo, JP
;
Saito, Yoshikazu, Tokyo, JP
;
Veith, Michael, 66386 St. Ingbert, DE
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| 22/96 |
Application date |
AD |
Jul 18, 2006 |
| 21 |
Application number |
AN |
102006033280 |
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Country of application |
AC |
DE |
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Publication date |
PUB |
Jan 24, 2008 |
33
31
32 |
Priority data |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC main class |
ICM |
C08L 101/12
(2006.01)
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| 51 |
IPC secondary class |
ICS |
C08L 101/02
(2006.01)
G03F 7/004
(2006.01)
G03F 7/00
(2006.01)
G03F 7/075
(2006.01)
H01L 21/02
(2006.01)
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IPC additional class |
ICA |
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IPC index class |
ICI |
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Cooperative patent classification |
CPC |
G03F 7/0047
G03F 7/038
G03F 7/0757
Y10T 428/24802
Y10T 428/31663
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MCD main class |
MCM |
C08L 101/12
(2006.01)
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MCD secondary class |
MCS |
C08L 101/02
(2006.01)
G03F 7/004
(2006.01)
G03F 7/00
(2006.01)
G03F 7/075
(2006.01)
H01L 21/02
(2006.01)
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MCD additional class |
MCA |
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Abstract |
AB |
[DE] Die Erfindung liefert eine Kompositzusammensetzung, umfassend ein kationisch polymerisierbares organisches Harz, einen kationischen Photoinitiator, ein Hydrolysat und/oder Kondensatz von mindestens einer hydrolysierbaren Silanverbindung und anorganische Nanopartikel. Die Kompositzusammensetzung eignet sich zur Herstellung von strukturierten Formkörpern und Substraten mit einer strukturierten Beschichtung, insbesondere durch Photolithographie. Die erhaltenen Mikromuster zeigen verbesserte Eigenschaften, wie hohe Formstabilität und einen ausgezeichneten Elastizitätsmodul.
[EN] The invention provides a composite composition comprising a cationically polymerizable organic resin, a cationic photoinitiator, a hydrolysate and/or condensate of at least one hydrolysable silane compound and inorganic nanoparticles. The composite composition is suitable for the preparation of patterned moulded articles or substrates having a patterned coating, in particular by photolithography. Micropatterns obtained show improved properties, such as a high shape stability and an excellent elastic modulus. |
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Cited documents identified in the search |
CT |
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Cited documents indicated by the applicant |
CT |
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Cited non-patent literature identified in the search |
CTNP |
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Cited non-patent literature indicated by the applicant |
CTNP |
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Citing documents |
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Determine documents
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Sequence listings |
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Search file IPC |
ICP |
C08L 101/02
C08L 101/12
G03F 7/004
G03F 7/038
G03F 7/075
H01L 21/02
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