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Titel |
TI |
[DE] Kompositzusammensetzung für mikrostrukturierte Schichten |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
Canon K.K., Tokio/Tokyo, JP
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Leibniz-Institut für Neue Materialien gemeinnützige GmbH, 66123 Saarbrücken, DE
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Erfinder |
IN |
Becker-Willinger, Carsten, 66130 Saarbrücken, DE
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Hino, Etsuko, Tokyo, JP
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Kalmes, Pamela, 66589 Merchweiler, DE
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Noguchi, Mitsutoshi, Tokyo, JP
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Ohkuma, Norio, Tokyo, JP
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Saito, Yoshikazu, Tokyo, JP
;
Veith, Michael, 66386 St. Ingbert, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
18.07.2006 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
102006033280 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
24.01.2008 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
C08L 101/12
(2006.01)
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
C08L 101/02
(2006.01)
G03F 7/004
(2006.01)
G03F 7/00
(2006.01)
G03F 7/075
(2006.01)
H01L 21/02
(2006.01)
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
G03F 7/0047
G03F 7/038
G03F 7/0757
Y10T 428/24802
Y10T 428/31663
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
C08L 101/12
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
C08L 101/02
(2006.01)
G03F 7/004
(2006.01)
G03F 7/00
(2006.01)
G03F 7/075
(2006.01)
H01L 21/02
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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Zusammenfassung |
AB |
[DE] Die Erfindung liefert eine Kompositzusammensetzung, umfassend ein kationisch polymerisierbares organisches Harz, einen kationischen Photoinitiator, ein Hydrolysat und/oder Kondensatz von mindestens einer hydrolysierbaren Silanverbindung und anorganische Nanopartikel. Die Kompositzusammensetzung eignet sich zur Herstellung von strukturierten Formkörpern und Substraten mit einer strukturierten Beschichtung, insbesondere durch Photolithographie. Die erhaltenen Mikromuster zeigen verbesserte Eigenschaften, wie hohe Formstabilität und einen ausgezeichneten Elastizitätsmodul.
[EN] The invention provides a composite composition comprising a cationically polymerizable organic resin, a cationic photoinitiator, a hydrolysate and/or condensate of at least one hydrolysable silane compound and inorganic nanoparticles. The composite composition is suitable for the preparation of patterned moulded articles or substrates having a patterned coating, in particular by photolithography. Micropatterns obtained show improved properties, such as a high shape stability and an excellent elastic modulus. |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
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Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
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Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
C08L 101/02
C08L 101/12
G03F 7/004
G03F 7/038
G03F 7/075
H01L 21/02
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