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Bibliographic data Document DE102006002732B4 (Pages: 15)
INID	Criterion	Field	Contents
54	Title	TI	[DE] Photomischdetektor und Verfahren zu dessen Betrieb
71/73	Applicant/owner	PA	PMD Technologie GmbH, 57076, Siegen, DE
72	Inventor	IN	Bette, Holger, Dipl.-Phys., 57368, Lennestadt, DE ; Kraft, Holger, Dipl.-Ing., 57078, Siegen, DE ; Lange, Robert, Dr., 57368, Lennestadt, DE
22/96	Application date	AD	Jan 20, 2006
21	Application number	AN	102006002732
	Country of application	AC	DE
	Publication date	PUB	Oct 1, 2015
33 31 32	Priority data	PRC PRN PRD
51	IPC main class	ICM	H01L 27/144 (2006.01)
51	IPC secondary class	ICS	G01J 1/42 (2006.01) G01S 17/36 (2006.01) G01S 7/481 (2006.01) G01S 7/486 (2006.01)
	IPC additional class	ICA
	IPC index class	ICI
	Cooperative patent classification	CPC	G01S 7/4816 G01S 7/4863 H03D 9/0608 H10F 30/221 H10F 30/225 H10F 39/107 H10F 77/957
	MCD main class	MCM	H01L 27/144 (2006.01)
	MCD secondary class	MCS	G01J 1/42 (2006.01) G01S 17/36 (2006.01) G01S 7/481 (2006.01) G01S 7/4863 (2020.01)
	MCD additional class	MCA
57	Abstract	AB	[DE] Photomischdetektor mit einem photoempfindlichen Substrat (1, 1', 101, 201, 212, 301, 401, 601, 618, 701, 718), welches eine Vorder- und eine R�ckseite (5, 205, 405; 4, 4', 104, 204, 404) aufweist, wobei die Vorderseite (5, 205, 405) mindestens eine Ausleseelektrode (2, 3, 302, 303) und/oder eine Strukturierung aufweist, dadurch gekennzeichnet, da� der Detektor so ausgestaltet ist, da� er von der R�ckseite (4, 4', 104, 204, 404) des Substrats (1, 1', 101, 201, 212, 301, 401, 601, 618, 701, 718) beleuchtbar ist und da� das Potential des photoempfindlichen Substrats (1, 1', 101, 201, 212, 301, 401, 601, 618, 701, 718) definierbar ist, wobei das photoempfindliche Substrat (1, 1', 101, 201, 212, 301, 401, 601, 618, 701, 718) einen Substratkontakt (415) aufweist, der Substratkontakt (415) auf der Vorderseite (5, 205, 405) des photoempfindlichen Substrats (1, 1', 101, 201, 212, 301, 401, 601, 618, 701, 718) angeordnet ist und der Substratkontakt (415) niederohmig bis in den Bereich der R�ckseite. (4, 4', 104, 204, 404) des photoempfindlichen Substrats (1, 1', 101, 201, 212, 301, 401, 601, 618, 701, 718) durchgreift, wobei im Bereich der R�ckseite (4, 4', 104, 204, 404) eine niederohmige Schicht (314, 414) vorgesehen ist, die von dem Substratkontakt (415) kontaktiert wird.
56	Cited documents identified in the search	CT	DE000010132583A1 DE000010207610A1 WO002002033817A1
56	Cited documents indicated by the applicant	CT
56	Cited non-patent literature identified in the search	CTNP
56	Cited non-patent literature indicated by the applicant	CTNP
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	Sequence listings
	Search file IPC	ICP	G01J 1/42 G01S 17/36 PMD G01S 7/481 G01S 7/486 H01L 27/144 H01L 31/02