Bibliografische Daten

Dokument DE102006002732B4 (Seiten: 15)

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Bibliografische Daten Dokument DE102006002732B4 (Seiten: 15)
INID	Kriterium	Feld	Inhalt
54	Titel	TI	[DE] Photomischdetektor und Verfahren zu dessen Betrieb
71/73	Anmelder/Inhaber	PA	PMD Technologie GmbH, 57076, Siegen, DE
72	Erfinder	IN	Bette, Holger, Dipl.-Phys., 57368, Lennestadt, DE ; Kraft, Holger, Dipl.-Ing., 57078, Siegen, DE ; Lange, Robert, Dr., 57368, Lennestadt, DE
22/96	Anmeldedatum	AD	20.01.2006
21	Anmeldenummer	AN	102006002732
	Anmeldeland	AC	DE
	Veröffentlichungsdatum	PUB	01.10.2015
33 31 32	Priorität	PRC PRN PRD
51	IPC-Hauptklasse	ICM	H01L 27/144 (2006.01)
51	IPC-Nebenklasse	ICS	G01J 1/42 (2006.01) G01S 17/36 (2006.01) G01S 7/481 (2006.01) G01S 7/486 (2006.01)
	IPC-Zusatzklasse	ICA
	IPC-Indexklasse	ICI
	Gemeinsame Patentklassifikation	CPC	G01S 7/4816 G01S 7/4863 H01L 27/1446 H01L 31/02024 H01L 31/103 H01L 31/107 H03D 9/0608
	MCD-Hauptklasse	MCM	H01L 27/144 (2006.01)
	MCD-Nebenklasse	MCS	G01J 1/42 (2006.01) G01S 17/36 (2006.01) G01S 7/481 (2006.01) G01S 7/4863 (2020.01)
	MCD-Zusatzklasse	MCA
57	Zusammenfassung	AB	[DE] Photomischdetektor mit einem photoempfindlichen Substrat (1, 1', 101, 201, 212, 301, 401, 601, 618, 701, 718), welches eine Vorder- und eine R�ckseite (5, 205, 405; 4, 4', 104, 204, 404) aufweist, wobei die Vorderseite (5, 205, 405) mindestens eine Ausleseelektrode (2, 3, 302, 303) und/oder eine Strukturierung aufweist, dadurch gekennzeichnet, da� der Detektor so ausgestaltet ist, da� er von der R�ckseite (4, 4', 104, 204, 404) des Substrats (1, 1', 101, 201, 212, 301, 401, 601, 618, 701, 718) beleuchtbar ist und da� das Potential des photoempfindlichen Substrats (1, 1', 101, 201, 212, 301, 401, 601, 618, 701, 718) definierbar ist, wobei das photoempfindliche Substrat (1, 1', 101, 201, 212, 301, 401, 601, 618, 701, 718) einen Substratkontakt (415) aufweist, der Substratkontakt (415) auf der Vorderseite (5, 205, 405) des photoempfindlichen Substrats (1, 1', 101, 201, 212, 301, 401, 601, 618, 701, 718) angeordnet ist und der Substratkontakt (415) niederohmig bis in den Bereich der R�ckseite. (4, 4', 104, 204, 404) des photoempfindlichen Substrats (1, 1', 101, 201, 212, 301, 401, 601, 618, 701, 718) durchgreift, wobei im Bereich der R�ckseite (4, 4', 104, 204, 404) eine niederohmige Schicht (314, 414) vorgesehen ist, die von dem Substratkontakt (415) kontaktiert wird.
56	Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate, in Recherche ermittelt	CT	DE000010132583A1 DE000010207610A1 WO002002033817A1
56	Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate, vom Anmelder genannt	CT
56	Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate, in Recherche ermittelt	CTNP
56	Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate, vom Anmelder genannt	CTNP
	Zitierende Dokumente		Dokumente ermitteln
	Sequenzprotokoll
	Prüfstoff-IPC	ICP	G01J 1/42 G01S 17/36 PMD G01S 7/481 G01S 7/486 H01L 27/144 H01L 31/02