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Titel |
TI |
[DE] Abbildender Energiefilter für Elektronen und andere elektrisch geladene Teilchen und Methode der Energiefilterung der Elektronen und anderen elektrisch geladenen Teilchen mit dem abbildenden Energiefilter in elektrooptischen Geräten |
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Anmelder/Inhaber |
PA |
GRZELAKOWSKI KRZYSZTOF, PL
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| 72 |
Erfinder |
IN |
GRZELAKOWSKI KRZYSZTOF, PL
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
27.06.2005 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
102005031537 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
19.01.2006 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
PL
36878504
20040628
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IPC-Hauptklasse |
ICM |
H01J 37/05
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
H01J 37/26
H01J 49/48
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
H01J 2237/151
H01J 37/05
H01J 49/484
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
H01J 37/05
(2006.01)
H01J 37/26
(2006.01)
H01J 49/48
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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Zusammenfassung |
AB |
[DE] Die Erfindung betrifft einen abbildenden Energiefilter mit zwei konzentrischen und sphärischen Elektroden (1) und (2) und einem Ablenkwinkel von pi < alpha 2pi, der in der Lage ist, die Energie der elektrisch geladenen Teilchen zu filtern ohne Verlust von der Information über ihre Verteilung in der Objektebene. DOLLAR A Im Bereich zwischen den konzentrischen Elektroden (1) und (2), an der Stelle der kreisförmigen Zentraltrajektorie (14), wird wenigstens eine Dispersionsblende (16, 18, 20) angebracht, die sowohl den Energiebereich wie auch den Öffnungswinkel oder die Größe des Bildes definiert, das Potential der kreisförmigen Zentraltrajektorie (14) besitzt und auf ihren beiden Seiten mit den das Feld der konzentrischen und sphärischen Elektroden (1) und (2) simulierenden Elektroden (15, 17, 19) abgeschirmt ist. Ein fehlerfreies Bild (22a) wird an dem Schnittpunkt der Eingangs- (7) und Ausgangsachse (10) durch die geladenen Teilchen mit im Energiefilter selektiv gefilterten Energien vorgegeben. DOLLAR A Die Lokalisierung im Schnittpunkt der Ausgangsachse (11) mit der Eingangsachse (12) der konzentrischen und sphärischen Elektroden (1) und (2), eines Ablenkelementes (4, 31), das ein die geladenen Teilchen um einen Winkel von pi - alpha/2 ablenkendes Feld generiert, erlaubt, dass die Eingangs- und Ausgangsachsen (7) und (10) des gesamten abbildenden Energiefilters kolinear sind und dessen gesamter Ablenkwinkel 2pi beträgt. |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
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Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
H01J 37/05
H01J 37/26
H01J 49/48
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