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Document DE102004010067A1 (Pages: 11)

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INID Criterion Field Contents
54 Title TI [DE] Langzeitstabiler thermoelektrischer Gassensor mit hoher Sensitivität
[EN] Gas sensor with long term stability measures thermo-emf, for an applied temperature gradient, of a metal oxide semi-conductor layer of very low thickness
71/73 Applicant/owner PA Moos, Ralf, Prof. Dr.-Ing., 95447 Bayreuth, DE ; Rettig, Frank, Dipl.-Ing. (FH), 95473 Creußen, DE
72 Inventor IN Moos, Ralf, Prof. Dr.-Ing., 95447 Bayreuth, DE ; Rettig, Frank, Dipl.-Ing. (FH), 95473 Creußen, DE
22/96 Application date AD Mar 2, 2004
21 Application number AN 102004010067
Country of application AC DE
Publication date PUB Sep 22, 2005
33
31
32		 Priority data PRC
PRN
PRD

51 IPC main class ICM G01N 27/12
51 IPC secondary class ICS G01K 7/16
G01N 25/32
IPC additional class ICA
IPC index class ICI
Cooperative patent classification CPC G01K 7/16
G01N 25/32
G01N 27/12
MCD main class MCM
MCD secondary class MCS G01K 7/16 (2006.01)
G01N 25/32 (2006.01)
G01N 27/12 (2006.01)
MCD additional class MCA
57 Abstract AB [DE] Bekannte resistive Sensoren weisen Probleme bezüglich ihrer Langzeitstabilität auf, da in die Widerstandsmessung nicht nur die Materialeigenschaften in Form der elektrischen Leitfähigkeit, sondern auch die Geometrie der Funktionsschichten eingeht. Letztere kann sich z. B. aufgrund von Abplatzungen oder Rissen verändern, was zu einem Drift der Sensorkennlinie führt. DOLLAR A Abhilfe wird geschaffen durch einen Gassensor, der aus einem mit Elektroden versehenen, sich in einem Temperaturgradienten befindenden Funktionsmaterial besteht, dessen Thermokraft sich im Kontakt mit einem zu analysierenden Gas ändert. Dabei ist das Funktionsmaterial so ausgebildet, dass entweder seine Korngröße oder seine Schichtdicke kleiner als die Debye-Länge ist. DOLLAR A Der Sensor kann eingesetzt werden zur Überwachung der Luft hinsichtlich der Überschreitung eines Grenzwertes gesetzlich limitierter Gase, zur Explosionswarnung bei brennbaren Gasen, zur Bestimmung der Konzentration limitierter Gase aus Verbrennungsprozessen oder zur Bestimmung der Verlaufskonzentration eines bestimmten Gases oder einer Gruppe von Gasen.
[EN] Gas sensor comprises a silicon or ceramics substrate on which is deposited a metal oxide semi-conductor layer as a functional surface (FS), where the layer thickness, or grain size of a polycrystalline deposit forming the surface, is smaller than the Debye separation in the metal oxide. A thermal gradient is applied to the sensor and the thermoelectric emf is measured.
56 Cited documents identified in the search CT
56 Cited documents indicated by the applicant CT
56 Cited non-patent literature identified in the search CTNP
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Search file IPC ICP G01K 7/02
G01N 25/32
G01N 27/12