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Title |
TI |
[DE] Beschleunigungssensor
[EN] Acceleration sensor for car air bag control has micromachined stop bars prevents misfunction due to perpendicular acceleration |
| 71/73 |
Applicant/owner |
PA |
Robert Bosch GmbH, 70469 Stuttgart, DE
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| 72 |
Inventor |
IN |
Fischer, Frank, 72770 Reutlingen, DE
;
Kohn, Oliver, 72770 Reutlingen, DE
;
Rettig, Rasmus, 70839 Gerlingen, DE
;
Schubert, Dietrich, Dr., 72762 Reutlingen, DE
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| 22/96 |
Application date |
AD |
Oct 15, 1999 |
| 21 |
Application number |
AN |
19949605 |
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Country of application |
AC |
DE |
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Publication date |
PUB |
Apr 19, 2001 |
33
31
32 |
Priority data |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC main class |
ICM |
G01P 15/10
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| 51 |
IPC secondary class |
ICS |
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IPC additional class |
ICA |
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IPC index class |
ICI |
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Cooperative patent classification |
CPC |
B81B 2201/0235
B81B 3/0051
B81B 7/007
G01C 19/5642
G01P 15/0802
G01P 15/125
G01P 2015/0814
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MCD main class |
MCM |
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MCD secondary class |
MCS |
B81B 3/00
(2006.01)
G01P 15/08
(2006.01)
G01P 15/125
(2006.01)
H01L 29/84
(2006.01)
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MCD additional class |
MCA |
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Abstract |
AB |
[DE] Die Erfindung betrifft einen Beschleunigungssensor, mit einer beweglichen an einem Substrat aufgehängten, aufgrund einer Beschleunigungseinwirkung auslenkbaren Schwingstruktur, wobei eine Schwingebene der Schwingstruktur im wesentlichen parallel zu einer Substratebene liegt, und Auswertemitteln zum Erfassen einer beschleunigungsbedingten Auslenkung der Schwingstruktur. DOLLAR A Hierbei ist eine im wesentlichen senkrecht zur Schwingebene (x-, y-Ebene) der Schwingstruktur (12) liegende Auslenkbewegung der Schwingstruktur (12) begrenzende Anschlagmittel (36) vorgesehen.
[EN] The acceleration sensor has stop bars (36) which touch the guide posts (30) to limit movement of the inertial mass (12) perpendicular to the sensor direction. All parts are made by micromachining techniques. |
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Cited documents identified in the search |
CT |
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Cited documents indicated by the applicant |
CT |
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Cited non-patent literature identified in the search |
CTNP |
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Cited non-patent literature indicated by the applicant |
CTNP |
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Citing documents |
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Determine documents
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Sequence listings |
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Search file IPC |
ICP |
G01P 15/10
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