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Titel |
TI |
[DE] Verfahren und Vorrichtung zur photoinduzierten Kontrolle des anisotropen Ätzens von kristallinem Silizium
[EN] Three-dimensional crystalline silicon structures are produced e.g. for micromechanical sensors, actuators and light guide components |
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Anmelder/Inhaber |
PA |
Kötter, Christiane, 88213 Ravensburg, DE
;
Mescheder, Ulrich, Prof. Dr., 78120 Furtwangen, DE
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| 72 |
Erfinder |
IN |
Kötter, Christiane, 88213 Ravensburg, DE
;
Mescheder, Ulrich, Prof. Dr., 78120 Furtwangen, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
19.03.1998 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
19811965 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
23.09.1999 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
C30B 33/10
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
H01L 21/306
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
C30B 29/06
C30B 33/00
H01L 21/30608
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
C30B 33/00
(2006.01)
H01L 21/306
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
B81C 1/00
(2006.01)
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Zusammenfassung |
AB |
[DE] In der Anmeldung wird eine Vorrichtung und ein Verfahren beschrieben, das zur Herstellung mikromechanischer Elemente mit Hilfe eines elektrochemischen Ätzverfahrens dient, bei dem zur gezielten Strukturierung des einkristallinen Siliziums mit Lichtunterstützung gearbeitet wird. Die Dickeneinstellung der herzustellenden Si-Elemente (z. B. dünne Membranen für Drucksensoren) erfolgt durch eine ebenfalls auf optischen Prinzipien beruhende integrierte Meßvorrichtung.
[EN] Three-dimensional crystalline silicon structures are produced using an etchant while illuminating regions of the silicon surface. Preferred Features: Illumination is effected with visible light using masks and optics or movable light guides. |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
C30B 33/10 E
H01L 21/306
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