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Bibliografische Daten

Dokument DE000019758533B4 (Seiten: 3)

Bibliografische Daten Dokument DE000019758533B4 (Seiten: 3)
INID Kriterium Feld Inhalt
54 Titel TI [DE] Verfahren zum Strukturieren einer Oberflächenschicht
71/73 Anmelder/Inhaber PA Micronas GmbH, 79108 Freiburg, DE
72 Erfinder IN Baumann, Werner, 79100 Freiburg, DE ; Ehret, Ralf, 79291 Merdingen, DE ; Gahle, Hans-Jürgen, Dr. Ing., 79312 Emmendingen, DE ; Igel, Günter, Dipl.-Ing., 79331 Teningen, DE ; Lehmann, Mirko, 79117 Freiburg, DE ; Wolf, Bernhard, Prof. Dr.rer.nat., 79252 Stegen, DE
22/96 Anmeldedatum AD 04.12.1997
21 Anmeldenummer AN 19758533
Anmeldeland AC DE
Veröffentlichungsdatum PUB 29.09.2005
33
31
32
Priorität PRC
PRN
PRD
DE
19753790
19971204
51 IPC-Hauptklasse ICM H01L 21/308
51 IPC-Nebenklasse ICS G01N 27/414
H01L 21/31
H01L 51/40
IPC-Zusatzklasse ICA
IPC-Indexklasse ICI
Gemeinsame Patentklassifikation CPC G01B 11/30
G01N 21/94
H01L 22/24
MCD-Hauptklasse MCM G01N 33/543 (2006.01)
MCD-Nebenklasse MCS G01B 11/30 (2006.01)
G01N 21/17 (2006.01)
G01N 21/45 (2006.01)
G01N 21/84 (2006.01)
G01N 21/94 (2006.01)
G01N 27/414 (2006.01)
G01N 27/416 (2006.01)
G01Q 60/00 (2010.01)
H01L 21/66 (2006.01)
MCD-Zusatzklasse MCA
57 Zusammenfassung AB
56 Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt
CT DE000003924454A1
DE000019512117A1
DE000019601488C1
US000004728591A
56 Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt
CT
56 Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt
CTNP
56 Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt
CTNP
Zitierende Dokumente Dokumente ermitteln
Sequenzprotokoll
Prüfstoff-IPC ICP H01L 21/308
H01L 51/40