| 54 |
Titel |
TI |
[DE] Verfahren zur Untersuchung einer Oberflächenschicht |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
Micronas GmbH, 79108 Freiburg, DE
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| 72 |
Erfinder |
IN |
Baumann, Werner, 79110 Freiburg, DE
;
Ehret, Ralf, 79291 Merdingen, DE
;
Gahle, Hans-Jürgen, Dr.-Ing., 79312 Emmendingen, DE
;
Igel, Günter, Dipl.-Ing., 79331 Teningen, DE
;
Lehmann, Mirko, 79117 Freiburg, DE
;
Wolf, Bernhard, Prof.Dr.rer.nat., 79252 Stegen, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
04.12.1997 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
19753790 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
19.07.2001 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
DE
19758533
19971204
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
G01N 33/00
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
G01N 27/327
G01N 33/483
G06T 7/00
H01L 21/66
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
C12Q 1/00
G01N 27/02
G01N 27/416
G01N 33/52
G01N 33/53
H01L 21/312
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
G01B 11/30
G01N 21/94
H01L 22/24
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
G01B 11/30
(2006.01)
G01N 21/94
(2006.01)
H01L 21/66
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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| 57 |
Zusammenfassung |
AB |
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| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
DE000003836716A1
DE000003924454A1
DE000019512117A1
DE000019601488C1
US000004728591A
US000005510628A
US000005545531A
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| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
DE-Z: Fresenius Journal Anal.Chem. (1992) 343 : 765-768 p 0
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
G01N 27/327
G01N 33/00
G01N 33/483 E
G06T 7/00
H01L 21/66
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