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Titel |
TI |
[DE] Reflexionselektronenmikroskop
[EN] Reflection electron microscope |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
Focus GmbH Geräte zur Elektronenspektroskopie und Oberflächenanalytik, 65510 Hünstetten, DE
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| 72 |
Erfinder |
IN |
Grzelakowski, Krzystop, Dr., 65510 Hünstetten, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
20.11.1996 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
19647975 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
28.05.1997 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
DE
19543652
19951123
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IPC-Hauptklasse |
ICM |
H01J 37/29
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
H01J 2237/151
H01J 37/29
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
H01J 37/04
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
H01J 37/244
(2006.01)
H01J 37/29
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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Zusammenfassung |
AB |
[DE] Es wird ein Elektronenmikroskop (1) beschrieben, mit dem verschiedene Untersuchungsverfahren durchgeführt werden können. In der hinteren Brennebene (10) der Objektivlinse (4) oder in einer ihrer konjugierten Ebenen (12) ist ein Elektronenreflektor (15) angeordnet und derart ausgerichtet, daß der von der Elektronenquelle (14) kommende Primärstrahl (20) auf die zu untersuchende Probe (3) umgelenkt wird. Die Reflektorspitze (16) kann aus einem Einkristall oder aus einem polykristallinen Material bestehen.
[EN] The microscope (1) has an electron source (14), an imaging system with at least one objective lens (4) and a projection lens (6,7) and a light screen (9) and/or an electron multiplier (8). An electron reflector (15) is positioned in the rear image plane (10) of the objective lens (4), or in the conjugal plane (12), for deflecting the primary beam (20) provided by the electron source onto the microscope sample (3). Pref. the electron deflector has a reflection point inserted in the beam path of the imaging system and provided by a single crystal or a polycrystalline material. |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
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Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
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Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
H01J 37/29
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