Bibliografische Daten

Dokument DE000019641777C2 (Seiten: 6)

Bibliografische Daten Dokument DE000019641777C2 (Seiten: 6)
INID Kriterium Feld Inhalt
54 Titel TI [DE] Verfahren zum Herstellen eines Sensors mit einer Metallelektrode in einer MOS-Anordnung
71/73 Anmelder/Inhaber PA Micronas GmbH, 79108 Freiburg, DE
72 Erfinder IN Baumann, Werner, Dipl.-Phys., 79100 Freiburg, DE ; Ehret, Ralf, Dipl.-Phys., 79291 Merdingen, DE ; Gahle, Günter, Dr.-Ing., 79312 Emmendingen, DE ; Igel, Günter, Dipl.-Ing., 79312 Emmendingen, DE ; Lehmann, Mirko, 79117 Freiburg, DE ; Wolf, Bernhard, Prof. Dr., 79522 Stegen, DE
22/96 Anmeldedatum AD 10.10.1996
21 Anmeldenummer AN 19641777
Anmeldeland AC DE
Veröffentlichungsdatum PUB 27.09.2001
33
31
32
Priorität PRC
PRN
PRD
US
94812797
19971009
51 IPC-Hauptklasse ICM H01L 21/28
51 IPC-Nebenklasse ICS G01N 27/414
IPC-Zusatzklasse ICA
IPC-Indexklasse ICI
Gemeinsame Patentklassifikation CPC G01N 27/414
MCD-Hauptklasse MCM H01L 21/8234 (2006.01)
MCD-Nebenklasse MCS G01N 27/414 (2006.01)
H01L 27/088 (2006.01)
MCD-Zusatzklasse MCA
57 Zusammenfassung AB
56 Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt
CT DE000001000533A
DE000002163176A
DE000004034868C2
EP000000065350A1
GB000002200999A
US000004508613A
US000004878015A
56 Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt
CT
56 Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt
CTNP
56 Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt
CTNP
Zitierende Dokumente Dokumente ermitteln
Sequenzprotokoll
Prüfstoff-IPC ICP G01N 27/414
H01L 21/283