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Titel |
TI |
[DE] Emissionselektronenmikroskop mit zwei umschaltbaren Abbildungssytemen
[EN] Emission electron microscope has optical lens system with objective, imaging system with lens, stigmator, second imaging system parallel to first, electron detectors |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
Grzelakowski, Krzysztof, Dr., Wroclaw, PL
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| 72 |
Erfinder |
IN |
Grzelakowski, Krzysztof, Dr., Wroclaw, PL
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
05.02.2001 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
10164895 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
04.10.2007 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
PL
33853800
20000220
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
H01J 37/285
(2006.01)
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
H01J 37/22
(2006.01)
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
H01J 2237/06383
H01J 2237/24495
H01J 2237/2857
H01J 37/244
H01J 37/285
H01J 37/29
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
H01J 37/285
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
G01Q 30/02
(2010.01)
H01J 37/22
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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Zusammenfassung |
AB |
[DE] Es wird ein Emissionselektronenmikroskop beschrieben, das aus einer Objektivlinse, aus einem Abbildungssystem mit wenigstens einer Linse und aus einem Stigmator besteht, und zeichnet sich dadurch aus, dass es ein zweites, unabhängiges und zu dem ersten Abbildungssystem K1 ein paralleles Abbildungssystem K2 und zwei Elektronennachweiseinrichtungen (25) und (27) besitzt, mit dem zwei unabhängige Bilder erfasst werden: ein reelles Bild und ein Bild der Winkelverteilung der Elektronen als Folge des elektronischen Umschaltens der Potentiale der Ablenkelemente (13) und (17). Die beiden identischen Ablenkelemente, die aus Paaren sphärischer und konzentrischer Elektroden (13a), (13b) und (17a), (17b) bestehen, sind voneinander um deren zweifache Brennweite elektronenoptisch entfernt und lenken den Elektronenstrahl entsprechend um einen Winkel (beta) und (-beta) ab, was zu einer parallelen Versetzung des Elektronenstrahles führt. Die Elektrode (13b) enthält eine Bohrung (13c), die den Drift der Elektronen entlang der elektronenoptischen Hauptachse (29a) bei der abgeschalteten Ablenkung ermöglicht. Das Emissionselektronenmikroskop hat eine Elektronenquelle (8), die Primärelektronen emittiert, ein Kontrastblendensystem (4a) in einer von den zu der Brennebene des Objektives konjugierten Ebenen und ein Bildblendensystem (11) in einer von den Bildebenen des Systems.
[EN] The device has an electron optical lens system consisting of an objective lens, an imaging system (K1) with at least one lens and a stigmator, a second imaging system (K2) parallel to the first and two electron detectors (25,27) for detecting two independent images, a real image and an image of the angular distribution of the electrons, an electron source (8), a contrast stop system (4a) and an image stop system (11). |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
DE000002217501A
DE000003943211A1
JP000H11326247A
US000004096386A
US000006011262A
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
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Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
Rev. Sci. Instr. 67 (3), März 1996, S. 742-747 (K. Grzelakowski, E. Bauer) p 0
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
H01J 37/22
H01J 37/285
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