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Titel |
TI |
[DE] Hochtemperaturstoffsensor |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
Dornier GmbH, 88039 Friedrichshafen, DE
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| 72 |
Erfinder |
IN |
Birkhofer, Thomas, 88090 Immenstaad, DE
;
Maunz, Werner, 88677 Markdorf, DE
;
Moos, Ralf, Dr., 88048 Friedrichshafen, DE
;
Müller, Ralf, 88326 Aulendorf, DE
;
Müller, Willi, 88682 Salem, DE
;
Plog, Carsten, Dr., 88677 Markdorf, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
30.06.2000 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
10031976 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
17.01.2002 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
G01N 27/22
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
G01N 27/16
G01R 27/02
G01R 27/26
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
G01N 2027/222
G01N 27/226
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
G01N 27/22
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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| 57 |
Zusammenfassung |
AB |
[DE] Die Erfindung betrifft eine Hochtemperaturstoffsensor, umfassend DOLLAR A - ein Substrat (4), DOLLAR A - eine Anordnung (6), um den Sensor auf Temperatur zu bringen und zu halten, DOLLAR A und DOLLAR A - eine schichtartige Kondensatorstruktur (38) mit Strukturgrößen kleiner als 50 mum, auf die eine Funktionsschicht (18) aufgebracht ist. DOLLAR A Erfindungsgemäß wurde die schichtartige Kondensatorstruktur (38) folgendermaßen erzeugt: DOLLAR A - Aufbringen einer geschlossenen oder bereits vorstrukturierten elektrisch leitfähigen Schicht als Vorläufer der Kondensatorstruktur (38) mittels Dickschichttechnik, DOLLAR A - Strukturierung der elektrisch leitfähigen Schicht mittels photolithographischem Verfahren. |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
DE000003932880A1
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| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
G01N 27/16
G01N 27/22
G01R 27/02
G01R 27/26
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