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Title |
TI |
[DE] DIELEKTRISCHES MIKROMECHANISCHES ELEMENT |
| 71/73 |
Applicant/owner |
PA |
UNIV BERLIN HUMBOLDT, DD
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| 72 |
Inventor |
IN |
FUHR GUENTER, DD
;
GIMSA JAN, DD
;
GLASER ROLAND, DD
;
HAGEDORN ROLF, DD
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| 22/96 |
Application date |
AD |
Feb 2, 1989 |
| 21 |
Application number |
AN |
32546589 |
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Country of application |
AC |
DD |
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Publication date |
PUB |
Jun 20, 1990 |
33
31
32 |
Priority data |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC main class |
ICM |
H02K 41/02
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| 51 |
IPC secondary class |
ICS |
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IPC additional class |
ICA |
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IPC index class |
ICI |
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Cooperative patent classification |
CPC |
H02N 1/004
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MCD main class |
MCM |
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MCD secondary class |
MCS |
H02K 41/02
(2006.01)
H02N 1/00
(2006.01)
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MCD additional class |
MCA |
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| 57 |
Abstract |
AB |
[DE] Die Erfindung betrifft ein dielektrisches mikromechanisches Element, dessen beweglicher Teil (im folgenden als Laeufer bezeichnet) ein elektrisch homogenes oder inhomogenes Dielektrikum ist. Anwendungsgebiete sind in der Mikroelektronik, sowie in der Mikromechanik usw. gegeben. Angetrieben wird dieses Teil ueber einen oder mehrere elektrische Feldvektoren, die ueber Elektrodenanordnungen durch geschaltete Spannungen und/oder durch die Ansteuerung der Elektroden mit phasenverschobenen Spannungen erzeugt werden. Die Elektroden bilden auf mindestens einer Seite des Laeufers und/oder im Inneren des Laeufers eine lineare oder gekruemmte Elektrodenreihe. Eine oder auch mehrere der Elektroden koennen als gemeinsame Gegenelektrode fuer eine oder mehrere Einzelelektroden ausgebildet sein. Fig. 1 |
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Cited documents identified in the search |
CT |
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Cited documents indicated by the applicant |
CT |
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Cited non-patent literature identified in the search |
CTNP |
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Cited non-patent literature indicated by the applicant |
CTNP |
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Citing documents |
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Determine documents
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Sequence listings |
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Search file IPC |
ICP |
H02K 41/02
H02N 1/00
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