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Titel |
TI |
[DE] DIELEKTRISCHES MIKROMECHANISCHES ELEMENT |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
UNIV BERLIN HUMBOLDT, DD
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| 72 |
Erfinder |
IN |
FUHR GUENTER, DD
;
GIMSA JAN, DD
;
GLASER ROLAND, DD
;
HAGEDORN ROLF, DD
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
02.02.1989 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
32546589 |
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Anmeldeland |
AC |
DD |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
20.06.1990 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
H02K 41/02
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
H02N 1/004
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
H02K 41/02
(2006.01)
H02N 1/00
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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| 57 |
Zusammenfassung |
AB |
[DE] Die Erfindung betrifft ein dielektrisches mikromechanisches Element, dessen beweglicher Teil (im folgenden als Laeufer bezeichnet) ein elektrisch homogenes oder inhomogenes Dielektrikum ist. Anwendungsgebiete sind in der Mikroelektronik, sowie in der Mikromechanik usw. gegeben. Angetrieben wird dieses Teil ueber einen oder mehrere elektrische Feldvektoren, die ueber Elektrodenanordnungen durch geschaltete Spannungen und/oder durch die Ansteuerung der Elektroden mit phasenverschobenen Spannungen erzeugt werden. Die Elektroden bilden auf mindestens einer Seite des Laeufers und/oder im Inneren des Laeufers eine lineare oder gekruemmte Elektrodenreihe. Eine oder auch mehrere der Elektroden koennen als gemeinsame Gegenelektrode fuer eine oder mehrere Einzelelektroden ausgebildet sein. Fig. 1 |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
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Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
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Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
H02K 41/02
H02N 1/00
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