Bibliografische Daten

Dokument DD000000279984A1 (Seiten: 5)

Bibliografische Daten Dokument DD000000279984A1 (Seiten: 5)
INID Kriterium Feld Inhalt
54 Titel TI [DE] DIELEKTRISCHES MIKROMECHANISCHES ELEMENT
71/73 Anmelder/Inhaber PA UNIV BERLIN HUMBOLDT, DD
72 Erfinder IN FUHR GUENTER, DD ; GIMSA JAN, DD ; GLASER ROLAND, DD ; HAGEDORN ROLF, DD
22/96 Anmeldedatum AD 02.02.1989
21 Anmeldenummer AN 32546589
Anmeldeland AC DD
Veröffentlichungsdatum PUB 20.06.1990
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31
32
Priorität PRC
PRN
PRD


51 IPC-Hauptklasse ICM H02K 41/02
51 IPC-Nebenklasse ICS
IPC-Zusatzklasse ICA
IPC-Indexklasse ICI
Gemeinsame Patentklassifikation CPC H02N 1/004
MCD-Hauptklasse MCM
MCD-Nebenklasse MCS H02K 41/02 (2006.01)
H02N 1/00 (2006.01)
MCD-Zusatzklasse MCA
57 Zusammenfassung AB [DE] Die Erfindung betrifft ein dielektrisches mikromechanisches Element, dessen beweglicher Teil (im folgenden als Laeufer bezeichnet) ein elektrisch homogenes oder inhomogenes Dielektrikum ist. Anwendungsgebiete sind in der Mikroelektronik, sowie in der Mikromechanik usw. gegeben. Angetrieben wird dieses Teil ueber einen oder mehrere elektrische Feldvektoren, die ueber Elektrodenanordnungen durch geschaltete Spannungen und/oder durch die Ansteuerung der Elektroden mit phasenverschobenen Spannungen erzeugt werden. Die Elektroden bilden auf mindestens einer Seite des Laeufers und/oder im Inneren des Laeufers eine lineare oder gekruemmte Elektrodenreihe. Eine oder auch mehrere der Elektroden koennen als gemeinsame Gegenelektrode fuer eine oder mehrere Einzelelektroden ausgebildet sein. Fig. 1
56 Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt
CT
56 Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt
CT
56 Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt
CTNP
56 Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt
CTNP
Zitierende Dokumente Dokumente ermitteln
Sequenzprotokoll
Prüfstoff-IPC ICP H02K 41/02
H02N 1/00