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Title |
TI |
[DE] HYBRIDBAUSTEIN ZUR FEUCHTEMESSUNG |
| 71/73 |
Applicant/owner |
PA |
FREIBERG BRENNSTOFFINST, DD
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| 72 |
Inventor |
IN |
JAEGER FRANK-MICHAEL, DD
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| 22/96 |
Application date |
AD |
Mar 4, 1983 |
| 21 |
Application number |
AN |
24849483 |
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Country of application |
AC |
DD |
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Publication date |
PUB |
Sep 26, 1984 |
33
31
32 |
Priority data |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC main class |
ICM |
G01N 29/02
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| 51 |
IPC secondary class |
ICS |
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IPC additional class |
ICA |
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IPC index class |
ICI |
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Cooperative patent classification |
CPC |
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MCD main class |
MCM |
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MCD secondary class |
MCS |
G01N 29/02
(2006.01)
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MCD additional class |
MCA |
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| 57 |
Abstract |
AB |
[DE] Der erfindungsgemaesse Hybridbaustein zur Feuchtemessung ist vorteilhaft in der Klima- und Prozessmesstechnik einsetzbar. Das Ziel der Erfindung ist die Schaffung eines oekonomisch herstellbaren, fuer verschiedene Zwecke geeigneten Bausteine zur Feutemessung. Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe beeinhaltet, den Baustein mit hoher Messwertaufloesung auszustatten und kompatibel mit Mikrorechnersystemen zu gestalten. Erfindungsgemaess sind auf einem Traegersubstrat eine Halbleiteranordnung mit integrierter Schaltung und zwei Oberflaechenschallwellenresonatoren angeordnet. Der Baustein ist so mit einer Verkappung versehen, dass ein Oberflaechenschallwellenresonator mit der Atomosphaere verbunden ist, waehrend alle anderen Bauteile geschuetzt sind. Dadurch ist gewaehrleistet, dass der zweite Resonator staendig eine konstante Frequenz aufweist, die als Bezugsfrequenz bei sich durch Feutigkeitsaufnahme aendernder Frequenz des mit der Atmosphaere verbundenen Resonators ausgenutzt wird. Die Frequenzaenderung wird als Mass fuer die Feuchtigkeit verwendet. |
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Cited documents identified in the search |
CT |
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Cited documents indicated by the applicant |
CT |
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| 56 |
Cited non-patent literature identified in the search |
CTNP |
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Cited non-patent literature indicated by the applicant |
CTNP |
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Citing documents |
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EP000000226570A3
EP000002378285A1
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Sequence listings |
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Search file IPC |
ICP |
G01N 29/02
G01N 29/04 SNF
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