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Document EP000002423654A1 (Pages: 24)

Bibliographic data Document EP000002423654A1 (Pages: 24)
INID Criterion Field Contents
54 Title TI [DE] Micromechanischer Sensor mit Bandpasscharakteristik
[EN] Micromechanical sensor with bandpass characteristics
[FR] Capteur micromécanique doté d'une caractéristique de passage de bande
71/73 Applicant/owner PA UNIV CHEMNITZ TECH, DE
72 Inventor IN DIENEL MARCO, DE ; MEHNER JAN, DE ; SORGER ALEXANDER, DE
22/96 Application date AD Aug 26, 2010
21 Application number AN 10401151
Country of application AC EP
Publication date PUB Feb 29, 2012
33
31
32		 Priority data PRC
PRN
PRD

51 IPC main class ICM G01H 13/00 (2006.01)
51 IPC secondary class ICS
IPC additional class ICA
IPC index class ICI
Cooperative patent classification CPC G01H 13/00
MCD main class MCM G01H 13/00 (2006.01)
MCD secondary class MCS
MCD additional class MCA
57 Abstract AB [DE] Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Sensor (1,1',1'',2,2',3,3') mit wenigstens zwei Feder-Masse-Dämpfer-Schwingern, die von einer gemeinsamen externen Schwingung anregbar sind, wobei der mikromechanische Sensor (1,1',1'',2,2',3,3') ein erstes Feder-Masse-Schwingungssystem (S 1 ) mit einer ersten Resonanzfrequenz (f 1 ) und ein zweites Feder-Masse-Dämpfer-Schwingungssystem (S 2 ) mit einer zweiten Resonanzfrequenz (f 2 ), die niedriger als die erste Resonanzfrequenz (f 1 ) ist, aufweist. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Erfassen und/oder Messen von Schwingungen mit einem solchen Sensor sowie ein Verfahren zur Herstellung eines solchen mikromechanischen Sensors (1,1',1'',2,2',3,3'). Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung wird unter anderem durch einen mikromechanischen Sensor (1,1',1'',2,2',3,3') der oben genannten Gattung gelöst, wobei das erste und das zweite Feder-Masse-Dämpfer-Schwingungssystem (S 1 ,S 2 ) in einem Frequenzbereich unterhalb der zweiten Resonanzfrequenz (f 2 ) im Gleichtakt schwingen; wobei das erste und das zweite Feder-Masse-Dämpfer-Schwingungssystem Elektroden (6) aufweisen, die in einer Messrichtung um Elektrodenruhelagen mit Elektrodenauslenkungen, die gleich oder proportional zu Auslenkungen der Feder-Masse-Dämpfer-Schwinger sind, schwingen; wobei das erste und das zweite Feder-Masse-Dämpfer-Schwingungssystem (S 1 ,S 2 ) durch wenigstens ein auf die Elektroden (6) wirkendes elektrostatisches Feld unter Ausbildung wenigstens einer Kapazität (C) miteinander gekoppelt sind, wobei die Kapazität (C) durch wenigstens eine Elektrodenfläche und durch wenigstens einen Elektrodenabstand und/oder eine Elektrodenüberdeckung bestimmt ist, wobei die Elektrodenauslenkungen den Elektrodenabstand und/oder die Elektrodenüberdeckung und dadurch die Größe der Kapazität (C) beeinflussen und wobei bei einer Gleichtaktschwingung die Einflüsse des ersten und zweiten Feder-Masse-Dämpfer-Schwingungssystems (S 1 ,S 2 ) auf die Größe der Kapazität (C) kompensiert werden.
[EN] The sensor (1) has spring-mass vibration systems (S1,S2) having two different resonant frequencies that are oscillated in unison. The vibration electrodes (6) are vibrated in a direction of measurement electrodes, whose deflections are equal or proportional to deflections of spring-mass-damper oscillator. The vibration systems are coupled together to form capacitance (C). The capacitance is determined by electrode area and electrode spacing and/or electrode covering. The electrodes are overlapped, thus the influences on size of capacitance of vibration systems is compensated. An independent claim is included for method for detecting and measuring vibrations with micromechanical sensor.
56 Cited documents identified in the search CT US000005856722A
56 Cited documents indicated by the applicant CT
56 Cited non-patent literature identified in the search CTNP DAI ET AL: "Simulation and fabrication of HF microelectromechanical bandpass filter", MICROELECTRONICS JOURNAL, MACKINTOSH PUBLICATIONS LTD. LUTON, GB, vol. 38, no. 8-9, 1 August 2007 (2007-08-01), pages 828 - 833, XP022277820, ISSN: 0026-2692, DOI: 10.1016/J.MEJO.2007.07.070 0;
FORKE R ET AL: "Fabrication and characterization of a force coupled sensor-actuator system for adjustable resonant low frequency vibration detection", SENSORS AND ACTUATORS A, ELSEVIER SEQUOIA S.A., LAUSANNE, CH, vol. 145-146, 1 July 2008 (2008-07-01), pages 245 - 256, XP022716440, ISSN: 0924-4247, [retrieved on 20080112], DOI: 10.1016/J.SNA.2007.12.032 0
56 Cited non-patent literature indicated by the applicant CTNP
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Search file IPC ICP G01H 13/00