Bibliographic data

Document DE102006048000A1 (Pages: 4)

Bibliographic data Document DE102006048000A1 (Pages: 4)
INID Criterion Field Contents
54 Title TI [DE] Verfahren zur Herstellung eines zweiphasigen Schichtwerkstoffs
71/73 Applicant/owner PA Leibniz-Institut für Neue Materialien gem. GmbH, 66123 Saarbrücken, DE
72 Inventor IN Kuhn, Patrick, 66701 Beckingen, DE ; Mathur, Sanjay, Prof., 66125 Saarbrücken, DE
22/96 Application date AD Oct 9, 2006
21 Application number AN 102006048000
Country of application AC DE
Publication date PUB Apr 10, 2008
33
31
32		 Priority data PRC
PRN
PRD

51 IPC main class ICM C23C 16/08 (2006.01)
51 IPC secondary class ICS C23C 16/503 (2006.01)
IPC additional class ICA
IPC index class ICI
Cooperative patent classification CPC C23C 16/30
C23C 16/308
C23C 16/515
MCD main class MCM C23C 16/08 (2006.01)
MCD secondary class MCS C23C 16/503 (2006.01)
MCD additional class MCA
57 Abstract AB [DE] Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines zweiphasigen Schichtwerkstoffs durch Schichtabscheidung im plasmaunterstützten CVD-Verfahren. Um einen zweiphasigen Schichtwerkstoff mit System Titan-Stickstoff-Sauerstoff herzustellen, wird im Rahmen der Erfindung vorgeschlagen, dass ein metallisches Substrat auf einer Kathode angeordnet wird und eine Titanquelle in eine Wasserstoff-Argon-Stickstoff-Atomsphäre zugegeben wird. In dem erfindungsgemäßen Verfahren wird der zweiphasige Schichtwerkstoff in Form von nanokristallinen Titannitrid-Ausscheidungen in einer amorphen Titanoxid-Matrix durch Zugabe von Titanisopropylat in eine Wasserstoff-Argon-Stickstoff-Atmosphäre unter Verwendung einer gepulsten Gleichstrom-Glimmentladung hergestellt. Darüber hinaus ist es möglich, die Schichteigenschaften gezielt einzustellen.
56 Cited documents identified in the search CT
56 Cited documents indicated by the applicant CT
56 Cited non-patent literature identified in the search CTNP
56 Cited non-patent literature indicated by the applicant CTNP
Citing documents Determine documents
Sequence listings
Search file IPC ICP C23C 16/08
C23C 16/30
C23C 16/503