B	Sektion B — Arbeitsverfahren; Transportieren
		Mikrostrukturtechnik; Nanotechnik
	B81	Mikrostrukturtechnik [7]
	B81B	Mikrostrukturbauelemente oder Mikrostruktursysteme, z.B. mikromechanische Bauelemente (piezoelektrische, elektrostriktive oder magnetostriktive Bauelemente an sich H10N 30/00, H10N 35/00) [7]
	B81C	Verfahren oder Geräte besonders ausgebildet zur Herstellung oder Behandlung von Mikrostrukturbauelementen oder Mikrostruktursystemen (Herstellung von Mikrokapseln und Mikrohohlkugeln B01J 13/02; Verfahren oder Geräte für die Herstellung oder Behandlung von piezoelektrischen, elektrostriktiven oder magnetostriktiven Bauelementen an sich H10N 30/01) [7]