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Titel |
TI |
[DE] VERFAHREN ZUR INTEGRATION FUNKTIONELLER NANOSTRUKTUREN IN MIKRO- UND NANOELEKTRISCHE SCHALTKREISE
[EN] METHOD FOR INTEGRATING FUNCTIONAL NANOSTRUCTURES INTO MICROELECTRIC AND NANOELECTRIC CIRCUITS
[FR] PROCEDE POUR INTEGRER DES NANOSTRUCTURES FONCTIONNELLES DANS DES CIRCUITS MICRO-ELECTRIQUES ET NANO-ELECTRIQUES |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
BENKE ANNEGRET, DE
;
ECKSTEIN GERALD, DE
;
JOST OLIVER, DE
;
MERTIG MICHAEL, DE
;
SICKERT DANIEL, DE
;
SIEMENS AG, DE
;
TAEGER SEBASTIAN, DE
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| 72 |
Erfinder |
IN |
BENKE ANNEGRET, DE
;
ECKSTEIN GERALD, DE
;
JOST OLIVER, DE
;
MERTIG MICHAEL, DE
;
SICKERT DANIEL, DE
;
TAEGER SEBASTIAN, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
27.07.2006 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
2006064761 |
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Anmeldeland |
AC |
EP |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
19.04.2007 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
DE
102005038121
20050811
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
B82B 3/00
(2006.01)
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
H01L 21/768
(2006.01)
H01L 29/10
(2006.01)
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
B82Y 10/00
B82Y 30/00
H10K 10/82
H10K 85/221
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
B82B 3/00
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
H01L 21/768
(2006.01)
H01L 29/10
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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| 57 |
Zusammenfassung |
AB |
[DE] Verfahren zur Integration funktioneller Nanostrukturen in mikro- und nanoelektrische Schaltkreise. Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erzeugung mindestens einer Nanostruktur (9) auf einem Substrat (17). Das Verfahren zeichnet sich aus durch auf dem Substrat (17) erfolgendes Ausbilden mindestens eines Multielektrodenaufbaus (11) , bei dem Elektroden jeweils hervorstehende Elektrodenbereiche mit von der Elektrode abgewandten Enden (5) aufweisen, die derart entlang einer Linie angeordnet sind, dass benachbarte Enden (5) jeweils eine mit einer Frequenz sich zeitlich verändernde Potentialdifferenz erzeugen; erzeugen einer Nanoobjekte (3) , wie beispielsweise Nanoröhren, Nanodrähte und/oder Kohlenstof fnanoröhren, aufweisenden Suspension und Übertragen der Suspension auf das Substrat (17) jeweils zwischen benachbarten Enden (5); jeweils entlang der Linie zwischen den benachbarten Enden (5) erfolgendes dielektrophoretisches Abscheiden separater Nanoobjektansammlungen (7); zur Ausbildung der Nanostruktur (9) erfolgendes Zusammenwachsen der Nanoobjektansammlungen (7) jeweils im Bereich der Enden (5) .
[EN] The invention relates to a method for integrating functional nanostructures into microelectric and nanoelectric circuits and to a method for producing at least one nanostructure (9) on a substrate (17) consisting in forming at least one multi-electrode arrangement (11) on the substrate (17), wherein said electrodes comprise respective electrode areas projected with respect to the opposite electrode ends (5) which extend along a line in such a way that the adjacent ends (5) produce a respectively frequency time-variable potential difference, in producing a suspension comprising nano-object (3) such as nanotubes, nano-wires and/or carbon nanotubes, in transferring said suspension to the substrate (17) which is arranged between the adjacent ends (5), respectively, in dielectrophoreticly deposing the assembly of respective individual nano-objects (7) on the line between said adjacent ends (5) and in fusing the assembly of respective nano-objects in the area of the ends (5) in such a way that the nanostructure (9) is formed.
[FR] La présente invention concerne un procédé pour intégrer des nanostructures fonctionnelles dans des circuits micro-électriques et nano-électriques. Elle concerne aussi un procédé pour produire au moins une nanostructure (9) sur un substrat (17). Ce procédé est caractérisé en ce qu'il consiste à former au moins un ensemble à plusieurs électrodes (11) sur le substrat (17), les électrodes présentant respectivement des zones d'électrode en saillie avec des extrémités opposées de l'électrode (5) qui s'étendent sur une ligne de manière que des extrémités adjacentes (5) produisent respectivement une différence de potentiel variable dans le temps avec une fréquence, à produire une suspension présentant des nano-objets (3), tels que des nanotubes, des nanofils et/ou des nanotubes de carbone, à transférer la suspension sur le substrat (17) situé respectivement entre des extrémités adjacentes (5), à effectuer un dépôt diélectrophorétique d'ensembles de nano-objets séparés (7) respectivement sur la ligne entre les extrémités adjacentes (5), puis à fusionner les ensembles de nano-objets (7) respectivement dans la zone des extrémités (5), afin de former la nanostructure (9). |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
EP000001528039A1
US000006536106B1
US020030048619A1
WO002001084238A1
WO002003016209A1
WO002004103568A1
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| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
KRUPKE R ET AL: "Contacting single bundles of carbon nanotubes with alternating electric fields", APPLIED PHYSICS A: MATERIALS SCIENCE AND PROCESSING, SPRINGER VERLAG, BERLIN, DE, vol. A76, no. 3, March 2003 (2003-03-01), pages 397 - 400, XP002339480, ISSN: 0947-8396 7
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
B82B 3/00
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