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Erfinder |
IN |
Awakowicz, Peter, Prof. Dr.-Ing., 44797, Bochum, DE
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Brinkmann, Ralf-Peter, Prof.Dr., 40699, Erkrath, DE
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Lapke, Martin, Dipl.-Ing., 44787, Bochum, DE
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Musch, Thomas, Prof. Dr.-Ing., 44879, Bochum, DE
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Mussenbrock, Thomas, Dr.-Ing., 42283, Wuppertal, DE
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Oberrath, Jens, Dipl.-Ing., 44789, Bochum, DE
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Rolfes, Ilona, Prof. Dr.-Ing., 44879, Bochum, DE
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Schulz, Christian, Dipl.-Ing., 44791, Bochum, DE
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Storch, Robert, Dipl.-Ing., 44787, Bochum, DE
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Styrnoll, Tim, Dipl.-Ing., 44795, Bochum, DE
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Zietz, Christian, 31535, Neustadt, DE
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Zusammenfassung |
AB |
[DE] Vorrichtung zur Messung der Dichte und/oder der Elektronentemperatur und/oder der Stoßfrequenz eines Plasmas, umfassend Mittel zur Bestimmung einer Impulsantwort auf ein in ein Plasma eingekoppeltes Hochfrequenzsignal sowie Mittel zur Berechnung der Dichte und/oder der Elektronentemperatur und/oder der Stoßfrequenz als Funktion der Impulsantwort, eine in das Plasma einbringbare Sonde (1) mit einem Sondenkopf (2) und einem Sondenschaft (5), welcher mit einem Signalgenerator zum elektrischen Einkoppeln eines Hochfrequenzsignals in den Sondenkopf (2) verbunden ist, wobei der Sondenkopf (2) einen Mantel (7) und einen von dem Mantel (7) umgebenen Sondenkern (8) aufweist, wobei die Oberfläche des Sondenkerns (8) gegeneinander isolierte Elektrodenbereiche (3, 4; 3a, 4a) gegensätzlicher Polarität aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Sonde (1) ein Symmetrierglied (9) aufweist, welches im Übergang zwischen dem Sondenkopf (2) und einer elektrisch unsymmetrischen Hochfrequenzsignalzuführung (6) zur Umwandlung elektrisch unsymmetrischer Signale in symmetrische Signale wirksam ist.
[EN] The device has a probe shaft (5) connected with a signal generator for electrical coupling of a high frequency signal in a probe head (2). The probe head comprises a probe core (8) that is surrounded by a plastic casing (7) or tube. A probe (1) comprises a symmetrical element (9), which is active in transition between the probe head and an electrical unsymmetrical high frequency signal delivery unit (6) i.e. coaxial line, for converting electrical unsymmetrical signals into symmetrical signals. The probe is designed as a multi-layer circuitry based on sintered ceramic carriers. |
