Bibliographic data

Document DE102010001395A1 (Pages: 10)

Bibliographic data Document DE102010001395A1 (Pages: 10)
INID Criterion Field Contents
54 Title TI [DE] Miniaturisierbare Plasmaquelle
71/73 Applicant/owner PA Forschungsverbund Berlin e.V., 12489, Berlin, DE
72 Inventor IN Gesche, Roland, Dr., 63500, Seligenstadt, DE ; Kühn, Silvio, Dipl.-Ing., 16321, Bernau, DE ; Porteanu, Horia-Eugen, Dr., 12557, Berlin, DE
22/96 Application date AD Jan 29, 2010
21 Application number AN 102010001395
Country of application AC DE
Publication date PUB Aug 4, 2011
33
31
32		 Priority data PRC
PRN
PRD

51 IPC main class ICM H05H 1/46 (2006.01)
51 IPC secondary class ICS
IPC additional class ICA
IPC index class ICI
Cooperative patent classification CPC H05H 1/46
H05H 1/4652
H05H 2240/10
H05H 2245/60
MCD main class MCM H05H 1/46 (2006.01)
MCD secondary class MCS
MCD additional class MCA
57 Abstract AB [DE] Eine Plasmaquelle mit einem Oszillator, welcher ein aktives Element und einen mit dem aktiven Element verbundenen Resonator besitzt. Der Resonator weist einen Hohlkörper, einen Gaseinlass, einen an einem distalen Ende des Hohlkörpers um eine Längsachse des Hohlkörpers angeordneten Gasauslass und eine entlang der Längsachse des Hohlkörpers angeordnete Spule mit einer effektiven Länge von einem Viertel einer Wellenlänge bei einer Resonanzfrequenz des Resonators auf. Ein distales Ende der Spule ist relativ zum Gasauslass so angeordnet, dass sich eine Plasmastrecke zwischen dem als eine erste Plasmaelektrode fungierenden distalen Ende der Spule und dem als eine zweite Plasmaelektrode fungierenden Gasauslass des Hohlkörpers ausbilden kann. Die Spule ist an einem proximalen Ende des Hohlkörpers aus dem Inneren des Hohlkörpers durch eine elektrisch kontaktfreie Durchführung herausgeführt und ein proximales Ende der Spule kontaktiert den Hohlkörper an dessen Außenseite. Die Spule ist an einem zwischen dem proximalen Ende der Spule und der Durchführung gelegenen ersten Kontaktbereich mit einem ersten Tor des aktiven Elementes und an einem zwischen dem proximalen Ende der Spule und der Durchführung gelegenen zweiten Kontaktbereich mit einem zweiten Tor des aktiven Elementes gekoppelt.
56 Cited documents identified in the search CT DE000004337119A1
EP000000996316A1
US000003663858A
US000004918031A
US000006304036B1
US000006649076B2
US020020125223A1
US020060285108A1
US020080078745A1
US020090260973A1
56 Cited documents indicated by the applicant CT
56 Cited non-patent literature identified in the search CTNP
56 Cited non-patent literature indicated by the applicant CTNP
Citing documents Determine documents
Sequence listings
Search file IPC ICP H05H 1/46