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Titel |
TI |
[DE] Verfahren und Generatorschaltung zur Erzeugung von Plasmen mittels Hochfrequenzanregung |
| 71/73 |
Anmelder/Inhaber |
PA |
Forschungsverbund Berlin e.V., 12489 Berlin, DE
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| 72 |
Erfinder |
IN |
Gesche, Roland, Dr., 63500 Seligenstadt, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
14.11.2007 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
102007055010 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
28.05.2009 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
H05H 1/46
(2006.01)
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
H01J 37/32
(2006.01)
H05H 1/24
(2006.01)
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
H01J 37/32082
H01J 37/32165
H05H 1/46
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
H05H 1/46
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
H01J 37/32
(2006.01)
H05H 1/24
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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Zusammenfassung |
AB |
[DE] Zur Bereitstellung einer das Plasma aufrechterhaltenden Spannung wird nach dem Verfahren einer hochfrequenten Spannung mit einer definierten Arbeitsfrequenz mindestens eine weitere hochfrequente Spannung mit jeweils einem Vielfachen dieser Arbeitsfrequenz und jeweils einstellbarer Amplitude und Phase phasenstarr überlagert. Für eine entsprechende Generatorschaltung sind mindestens zwei Hochfrequenz-Leistungsgeneratoren (1 bis 4) vorgesehen, von denen einer (1) bei einer definierten Arbeitsfrequenz (f) und der oder die anderen (2 bis 4) bei jeweils einem Vielfachen dieser Arbeitsfrequenz (f) arbeiten. Alle Hochfrequenz-Leistungsgeneratoren (1 bis 4) sind phasenstarr miteinander gekoppelt und die relative Phasenlage sowie die jeweilige Amplitude jedes Hochfrequenz-Leistungsgenerators (1 bis 4) sind mittels einer eigenen Anpassungsschaltung (5 bis 8) einzeln regelbar. Alternativ dazu kann ein bei einer definierten Arbeitsfrequenz (f) arbeitender Oszillator und mindestens ein weiterer, dem Oszillator nachgeschalteter Frequenzvervielfacher vorgesehen sein, der oder die Harmonische dieser Arbeitsfrequenz (f) erzeugen. |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
DD000000295061B5
DE102006052061A1
US000006537421B2
US000007084369B2
US020040035837A1
US020060232471A1
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
H01J 37/32 HF
H01J 37/32 S
H05H 1/46 S
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