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Titel |
TI |
[DE] Verfahren zur Verbesserung der elektrischen Eigenschaften einer nanoelektronischen Struktur und mit dem Verfahren hergestellte Struktur, sowie deren Verwendung
[EN] Electrical features improvement method for nano-electronic structure, involves arranging nanoelectronic structure between two electrodes, applying metallic salt solution on nanowires and nanotubes |
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Anmelder/Inhaber |
PA |
Technische Universität Dresden, 01069 Dresden, DE
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| 72 |
Erfinder |
IN |
Mertig, Michael, 01169 Dresden, DE
;
Ranjan, Nitesh, 01069 Dresden, DE
;
Taeger, Sebastian, 01217 Dresden, DE
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| 22/96 |
Anmeldedatum |
AD |
11.09.2006 |
| 21 |
Anmeldenummer |
AN |
102006043386 |
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Anmeldeland |
AC |
DE |
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Veröffentlichungsdatum |
PUB |
27.03.2008 |
33
31
32 |
Priorität |
PRC
PRN
PRD |
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| 51 |
IPC-Hauptklasse |
ICM |
B82B 3/00
(2006.01)
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| 51 |
IPC-Nebenklasse |
ICS |
B82B 1/00
(2006.01)
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IPC-Zusatzklasse |
ICA |
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IPC-Indexklasse |
ICI |
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Gemeinsame Patentklassifikation |
CPC |
B82Y 10/00
H01L 21/2885
H01L 21/76892
H01L 2221/1094
H01L 23/53276
H01L 29/40
H01L 2924/0002
H01L 2924/3011
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MCD-Hauptklasse |
MCM |
B82B 3/00
(2006.01)
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MCD-Nebenklasse |
MCS |
B82B 1/00
(2006.01)
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MCD-Zusatzklasse |
MCA |
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| 57 |
Zusammenfassung |
AB |
[DE] Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Verbesserung der elektrischen Eigenschaften einer nanoelektronischen Struktur, die elektrisch leitende oder halbleitende Nanodrähte und/oder Nanoröhrchen mit einem Durchmesser von kleiner 20 nm enthält, die mit dem Verfahren hergestellte Struktur, sowie deren Verwendung. Das Verfahren basiert auf der dielektrophoretischen Deposition von Metallionen und umfasst folgende Schritte: a.) Anordnen der nanoelektronischen Struktur zwischen mindestens zwei Elektroden, b.) Aufbringen einer Metallsalzlösung auf die Nanodrähte und/oder Nanoröhrchen, c.) Anlegen einer Wechselspannung an die Elektroden, so dass sich an Fehlstellen der Nanodrähte und/oder Nanoröhrchen elektrische Felder ausbilden und wenigstens an den Fehlstellen Metall abgeschieden wird. Die Erfindung ist interessant zur Herstellung oder Reparat sowie für die Herstellung von Sensoren für Zug-, Biegebelastung oder Druckspannung.
[EN] The method involves arranging a nanoelectronic structure between two electrodes, applying a metallic salt solution on a nanowires (2) and nanotubes. An alternating voltage applying on the electrodes, so that electrical fields are formed at defects of the nanowires and nanotube and metal is separated at the defects. The method involves an electrically leading or semiconducting nanowires and nanotubes with a certain diameter. The nanowires and nanotubes is made of carbon. Independent claims are also included for the following: (1) an arrangement for improvement of the electrical features of an nanoelectronic structure, which has nanoelectronic structure with electrically leading or semi conducting nanowires and nanotube (2) an application of a dielectrophoresis cell, which has two electrodes and a metallic salt solution (3) a nanoelectronic structure, which has electrically leading or semi conducting nanowires and nanotubes (4) an application of a nanoelectronic structure as sensor for measuring string bowden cable (5) a method for measuring bowden cable, which involves arranging electrically leading or semi conducting nanowires and nanotubes with a diameter between two electrodes. |
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Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CT |
DE000010315897A1
US020030048619A1
US020050126913A1
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| 56 |
Entgegengehaltene Patentdokumente/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CT |
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| 56 |
Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
in Recherche ermittelt |
CTNP |
ARAI,S.,et.al.:Ni-deposited multi-walled carbon nanotubes by electrodeposition.In:Carbon 42,(2004),S.641-644; p 0;
AUSTIN,D.W.,et.al.:The electrodeposition of metal at metal/carbon nanotube junctions.In:Chemical Physics Letters 361, (2002),S.525-529; p 0;
C. Cheng et al.: ?Self-Assembly of Metallic Nanowires from Aqueous Solution? Nano Lett.,5, pp 175?178 (2004) n;
C. Stampfer et al.: ?Fabrication of Single-Walled Carbon-Nanotube-Based Pressure Sensors? Nano Lett., 6, pp 233-237 (2006) n;
F. Yuwei et al.: ?Identifying and counting point defects in carbon nanotubes?, Nat. Mat. 4, pp 906-911 (2005) n;
HASEGAWA,H.,et.al.:Fabrication of molecular nanowire using an electrochemical method.In:Thin Solid Films 438-439,S.352-355; p 0;
Hasegawa,H.,et.al.:Multiple simultaneous fabrication of molecular nanowires using nanoscale electrocrystallization.In:Thin Solid Films 499,(2006), S.289-292; p 0;
Subramanian,A.,et.al.:Assembly of Arrays of Individual Lateral Nanotube Emitters on Nanoelectrodes.In:Proceedings of 2005 5th IEEE Conference on Nanotechnology, 11-15 July, 2005, S.362-365; p 0
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Entgegengehaltene Nichtpatentliteratur/Zitate,
vom Anmelder genannt |
CTNP |
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Zitierende Dokumente |
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Dokumente ermitteln
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Sequenzprotokoll |
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Prüfstoff-IPC |
ICP |
B82B 1/00
B82B 3/00
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